让标准铂电阻温度计保持稳定性能保护标准铂电阻温度计退火时不受污染模数混合温度控制技术T良好的温度均匀性您已经花了很多钱为您的实验室配备一些标准铂电阻温度计,因为它们是您能够买到的测量精确度良好的设备。当您拥有了这些设备之后,如何使它们保持良好性能就成了您工作的一部分。您可以通过一台哈特 9117 型退火炉来达到此目的。标准铂电阻温度计不仅是ITS-90温标内......
仪器简介: 应用领域: 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA); 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO); 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN); 硅化 (Silicidation); 扩散 (Diffusion); ......
产品描述RTP-150RL 是在保护气氛下的桌面手动快速退火系统,以红外可见光加热单片 Wafer 或样品,工艺时间短,控温精度高,适用 2-6 英寸晶片。相对于传统扩散炉退火系 统和其他 RTP 系统,其独特的腔体设计、 的温度控制技术和RL900 软件控制系统,确保了极好的热均匀性。1.2 产品特点 红外卤素灯管加热,冷......
AS-One系统有两种型号: AS-One 100 系统或AS-One 150 系统该快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的,高可靠且性价比高。该工艺室采用贝壳式设计,可完全进入底板,方便装载和卸载基板,并允许实际清洁腔体快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。特征:基本尺寸:......