北京缺陷检测设备

仪器简介:应用: ◆ 硅片、化合物、半导体及透明材质产品表面缺陷的检查分析。技术参数:KLA-Tencor Candela CS10表面缺陷检测设备是针对半导体行业的表面缺陷的检查分析仪器。该设备利用激光扫描样品的整个表面,通过4个频道(散射光频道、反射光频道、相移频道及Z频道)的探测器所收集到的信号,快速的将缺陷(包括微粒、划伤、坑点、污染、痕迹......

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