KLA-Tencor Candela CS10/CS20 表面缺陷检测设备-表面缺陷检测设备 南昌

仪器简介：

应用： 
◆ 硅片、化合物、半导体及透明材质产品表面缺陷的检查分析。

技术参数：

KLA-Tencor Candela CS10表面缺陷检测设备是针对半导体行业的表面缺陷的检查分析仪器。该设备利用激光扫描样品的整个表面，通过4个频道（散射光频道、反射光频道、相移频道及Z频道）的探测器所收集到的信号，快速的将缺陷（包括微粒、划伤、坑点、污染、痕迹等）进行分类，统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸，最后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的标准，可以给出检测样品合格与否的判断。

主要特点：

◆ 标准夹具从2英寸到8英寸的样品，也可按需订制； 
◆ 可用于透明的材料的表面缺陷检测； 
◆ 可侦测的缺陷类型：颗粒，划伤，突起，凹坑，水渍等； 
◆ 手动（CS10）和自动传输模式（CS20）； 
◆ 双激光系统； 
◆ 小颗粒的高灵敏度（80nm）； 
◆ 强大的自动缺陷分类、统计分布和判别软件。缺陷分布图以及检测报告内的每一个缺陷都有4个频道拍到的照片储存在设备内部，这些照片可以辅助技术人员分析缺陷的成因及进行相关验证。可同时进行粗糙度、平坦度及膜厚均匀度的量测。其缺陷监测功能可以应用到不同的制程； 
◆ 颗粒检测-几乎应用于所有制程的监测； 
◆ 液体残留-应用于清洗及研磨； 
◆ 表面粗糙度、平坦度- 应用于研磨抛光； 
◆ 膜厚均匀度-应用镀膜工艺。 
◆ 内部的过滤器可以保证内部的洁净环境为10级，防止内部污染的同时该仪器还能长期保持稳定准确。拥有優秀的售后服务保障体系。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途