SS-X 太阳光模拟器采用氙气短弧灯作为宽带光源。氙灯的色温为 6000K,接近自然阳光(5500K)。所有 SS-X 系列太阳光模拟器不仅利用光学模拟软件模拟光机系统设计,而且采用傅立叶光学技术产生空间均匀辐照度,在半导体掩模对准器中得到了很好的证明。 SS-X ......
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