三维非接触式表面

仪器简介:该仪器采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、膜厚、光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。 这款产品凭借其当今世界zei前端的技术,......

中图仪器SuperViewW非接触式表面粗糙度白光干涉光学轮廓仪以白光干涉技术为原理,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW非接触式表面粗糙度白光干涉光学轮廓仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光......

中图仪器SuperViewW非接触式光学3D表面形貌测量系统以白光干涉技术为原理,能以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW非接触式光学3D表面形貌测量系统主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量,典型......

中图仪器SuperViewW非接触式光学3D表面粗糙度轮廓仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等);几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,S......

中图仪器SuperViewW非接触式光学干涉表面轮廓形貌仪是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器。主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量,如在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物......

中图仪器SuperViewW光学非接触式表面轮廓测量仪以白光干涉技术为原理,用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。它以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等);几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)。SuperViewW光学非......

中图仪器SuperViewW非接触式表面光学轮廓仪以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量,具有测量精度高、操作便捷、......

中图仪器SuperViewW非接触式表面光学粗糙度轮廓仪以白光干涉技术为原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。产品功能1)样件测量......

中图仪器SuperViewW非接触式光学三维轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表......

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