日本电子光学公司

产品规格:电子枪描画方式加速电压样品尺寸 zei大场尺寸样品台移动范围样品台控制单元套刻精度场拼接精度写场内位置精度定位DAC扫描速度ZrO/W 肖特基型圆形束, 矢量扫描, 步进重复式100kV样品尺寸 (可以安装): zei大300mmΦ的晶圆片, zei大6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小样品。1000µm×1000µm260mmX240mm......

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