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ARMS SYSTEM 其它显微镜
型号: UTA-IA
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显微镜LED曝光单元UTA系列是用于光刻的图案投影曝光设备,其不需要掩模。 (无掩模曝光装置)·使用金属显微镜和LED光源DLP投影仪,在涂有抗蚀剂的基板上投射几微米分辨率的任何图案并进行曝光。·可以在个人计算机上自由创建图案。·因为可以在大气中各种尺寸和形状的层状材料的单晶薄板上形成电极。比电子束光刻更便宜和容易,也不需要 制造昂贵的电极图案......