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中文名:六氯乙硅烷英文名:Hexachlorodisilane纯度:≥98%(T)货号:H157333Cas号:13465-77-5存储温度:-20°C储存,充氩产品介绍:六氯乙硅烷(HCDS)是一种氯硅烷,可用作生产乙硅烷的前体。它是一种用于生产硅膜和氮化硅基膜的脱氧剂应用: HCDS可用于通过化学气相沉积(CVD)制备二氧化硅气凝胶,其有望用作封装剂和......

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