中国科大理化科学实验中心仪器上新，国仪超高分辨场发射电镜试运行
2024-05-20 13:44:56, CIQTEK 国仪量子技术（合肥）股份有限公司
本文转载自微信公众号：中国科大理化科学实验中心
近日，中国科学技术大学理化科学实验中心新安装了国仪量子自主研制的超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X。目前，该设备已完成前期调试，即将投入试运行。
中国科学技术大学理化科学实验中心内的两款国仪量子扫描电镜
中国科学技术大学理化科学实验中心是中国科学技术大学公共技术创新平台实验中心之一，从1979年开始筹建。中心以“集中投入、统一管理、开放公用、资源共享”为建设原则，以建立条件优良、功能配套、管理规范、先进高效的优质资源和共享机制为建设目标，为培养创新人才和开展高水平科学研究工作提供技术支撑，为社会经济建设提供技术保障。作为学校最早建成的大型仪器开放平台，中心不仅承担着相关院系、国家研究中心、国家重点实验室，省部级实验室以及国家、省部级等各类科研项目的技术支持分析测试任务，同时，也对相关学科提供教学、科研实验条件与环境。
SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。
产品优势
超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响
最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求
应用案例
5月17日，重磅活动预告！
关注我，了解更多行业资讯
延伸阅读
戳底部“阅读原文”，了解详情！
02-10 安淼
手慢无！飞诺美球仔专属红包封面，2026「球」好运！02-10 市场部
春立万象新，丹纳赫中国区集团总裁彭阳给您拜个早年！02-10
马跃春晖，骐骥贺岁 | 与安捷伦开启万象新春祝福02-10
PFAS 知识狂飙赛，速来闯关赢大奖！02-10 安捷伦科技
安捷伦官方认证翻新仪器以租代售，助实验一马当先！02-10 安捷伦科技
重磅发布！SCIEX创新整合Echo® MS+与ZenoTOF 8600，实现高通量筛选灵敏度飙升02-10 SCIEX
徐医团队首篇Cell|看MST技术如何锁定肿瘤免疫逃逸关键互作机制02-10 丁浩
2026春节期间发货安排02-10 NanoTemper
春节放假前必看！真空离心浓缩仪“假期保养指南”02-09 吉艾姆离心浓缩
马踏春风至，佳节共团圆｜2026春节放假通知02-09 吉艾姆离心浓缩
华仪宁创2026春节备货通知02-09
免费领取｜这份 “马” 上暴富的红包封面，手慢无！02-06 Opentrons
24个精选真实故事，25年的最好工作搭档！02-06
精准赋能实验室智能化，阿斯曼尔全自动液体工作站解锁高效实验新范式02-06 ASHMAR
官宣！飞诺美首席“科研搭子”球仔，正式入驻小红书！02-06 市场部
QATM 奥德镁 | 全自动磨抛方案拉满球墨铸铁金相检测效率——Qpol 300 BOT 全自动研磨抛光系统02-06 弗尔德仪器
实验室选柱不踩坑！珀金埃尔默推出国产气相色谱柱，性能与性价比双在线02-05 珀金埃尔默
Pyris™ STA 9在药物分子研发中的应用--事半功倍，精准可靠02-05 珀金埃尔默
根据ASTM D6370使用珀金埃尔默Pyris™ TGA 9热重分析仪分析轮胎橡胶02-05 珀金埃尔默