薄膜测试的自动化方案

薄膜测试是XRD应用方向里比较困难的测试方向。它的测试方法和数据分析方法与常见的粉末测试不同。为了节约用户的时间，提高仪器的使用效率。我们尝试着将布鲁克在工业上用的薄膜自动化测试方案进一步优化后推广到高校用户。

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 薄膜测试分类

薄膜的测试主要分以下三个类型：

1.  GID，掠入射X射线衍射（测试结果如图1）

2. XRR，X射线反射率（测试结果如图2）

3. HRXRD，高分辨X射线衍射（主要是倒易空间RSM测试）（测试结果如图3）

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 样品位置调整方法

在这三种测试方法中，样品位置进行调整的方法有所不同。

• 对于GID测试，接着需要进行掠入射角的角度优化。

• 对于XRR测试，接着需要进行角度的校准。

• 对于HRXRD测试，接着需要进行Chi，Phi和Theta角的优化。

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 高校薄膜自动化测试方案

目前的高校薄膜自动化测试方案已基本可以完成对以下配置的自动化测试。

1. 线焦斑光源+三光路系统+紧凑尤拉环+Eiger探测器

2. 线焦斑光源+Goebel镜+紧凑尤拉环+Eiger探测器

▲图1：GID

▲图2：XRR

▲图3：RSM