承光造影！国仪量子聚焦离子束电子束双束电镜，如何优雅 精“制”？

离子束电子束双束电镜主要用于大规模集成电路的缺陷诊断、修补、离子注入、原位加工、掩膜版修理、刻蚀，集成电路设计修改，量子芯片器件制作，无掩膜加工，纳米结构制作，复杂纳米图形加工，材料的三维成像与分析、超灵敏表面分析、表面改性，以及透射电镜样品制备等方面。应用需求广泛，不可或缺。

但长期以来，相关核心技术和设备受制于人，严重制约了我国半导体等高科技产业发展。我国“十四五”国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项中提出，针对集成电路芯片设计修正和失效分析、样品3D重构、透射电镜样品制备等微纳尺度检测需求，开发具有自主知识产权、性能稳定可靠、核心部件全部国产化的聚焦离子束/电子束双束显微镜。

国仪量子此次突破，补齐了国产高端电镜的短板，对促进我国材料科学、半导体制造、生物医药等战略性新兴产业的自主创新具有重大意义。

DB500的主要功能是辅助用户完成透射电镜样品的高精度加工。为达到这个目标，DB500首先以高分辨成像为基础，电子枪的成像分辨率达到了1.2 nm@15kV；离子枪的分辨率达到了3 nm@30kV，保障两种粒子模式均可清晰成像。

同时，DB500拥的液态离子枪(“承影”离子镜筒)具有高稳定和高质量的离子束流，可实现半导体行业等微观尺度样品的微纳加工或失效分析。这两大特点保证了DB500能够“快准狠”地精准处理样品，实现”精''制‘”功能。

“承影，是中国古代十大名剑之一，相传，它锋利无比，能够穿过人体而不让受伤之人感受到疼痛。”

国仪量子将双束电镜中核心的离子束系统命名为“承影”，是希望DB500能够像宝剑长伴侠客那样，伴随科研工作者，承光造影，完美实现微纳加工与样品制备。

在实现精准制样的基础上，DB500自主研发了高度集成的纳米机械手，可实现舱内安装，步进精度≤10 nm，最大移动速度可达2 mm/s，为用户带来了简便高效的操作体验。

DB500还具有自动化控制和防护功能，得益于DB500支持多种辅助气体沉积，其全自动加热和伸缩方式，能够保障使用过程既安全又便捷。

同时，软硬件完全自主研发的DB500还拥有丰富的拓展性，目前共有24个法兰接口，可支持定制化服务。

作为国产高端科学仪器的引领者，国仪量子始终致力于为客户提供可靠稳定的产品与真诚以待的服务。为此，国仪量子将为首批DB500用户提供三年免费质保，售后24小时快速响应服务，解决各位专家老师在使用产品时的后顾之忧。

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