2023-10-21 18:38:31, 牛津仪器 牛津仪器科技(上海)有限公司
自动化WDS分析的意义何在?
相较于能谱EDS分析而言,波谱WDS分析通常较慢。这主要是由于WDS一次只能测量单一波长的X射线,而EDS是全谱测量,要使用WDS进行多元素的检测,需要反复执行多次。同时WDS的立体角比EDS小,信号量相应较低,需要更长的采集时间。
因此,对于WDS分析而言,如果能够跟EPMA一样,首先定义多个不同位置的点或者一条线上的若干点,然后自动依序收集这些点的WDS数据,必能大大节省分析时间,提高分析效率。
自动化点分析如何实现?
在新版AZtec中,WDS定量界面将新增自动化选项。自动化点分析可以通过两种方法实现:
1. 定义样品台位置,采集整个视场的平均谱图
2. 通过定义样品台起始位置来确定直线,定义直线内的采集点数或点之间的间隔距离来确定采集点的数量。
WDS可与EDS同时采集,与分析前/后采集的电子图像相结合,可以直观地确认分析点是否正确,以及将分析的点与成分一一对应起来。以下就是AZtecWave自动化点分析的操作界面。
EDS+WDS:快速且全面的元素面分布
由于EDS是全谱采集,且信号量比WDS大,通常使用EDS面分布可以快速得到待分析区域的元素分布信息。但是遇到类似下面的情况,就需要使用WDS,才能获得更全面、更准确的元素分布信息:
元素含量低于EDS检测限时,WDS的检测限优于100ppm,而EDS约为1000ppm。
使用EDS的去卷积处理(TruMap/QuantMap)无法区分的严重的重叠峰。WDS是波长色散谱仪,其能量分辨率比EDS好约10倍,因此可以轻松区分这些元素的重叠峰。
以下结果对比了使用WDS和EDS对钢铁样品析出相中含有的微量稀土元素Pr和Gd进行区分并采集其面分布图的差别,WDS可以轻松检测出其中微量的稀土元素并进行面分布成像。
EDS(黄色)和WDS(灰色)的能量分辨率对比,波谱适合更多痕量、严重重叠峰元素的分析
WDS面分布图可以更好地对含量少、且有重叠峰影响的元素进行表征,Gd WDS mapping结果更加真实可靠
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