扫描电镜在稀土永磁材料—钕铁硼领域的应用

钕铁硼永磁材料行业的核心技术主要体现在制造工艺上，具体体现在其产品的均匀性、一致性、加工质量、镀层质量等方面。钕铁硼磁铁作为第三代稀土永磁材料，具有很高的性能价格比，其广泛应用于能源、交通、机械、医疗、IT、家电等行业，特别是随着信息技术为代表的知识经济的发展，给稀土永磁钕铁硼产业等功能材料不断带来新的用途，这为钕铁硼产业带来更为广阔的市场前景。

我们全新一代Axia ChemiSEM扫描电镜，采用独特方法进行样品成分信息的采集、处理和展示；依托先进镜筒技术，保持系统始终处于最佳状态，可聚焦样品采集数据，随时提供高质量图像；可搭载多款扫描电镜软件实现多种自动化功能；简约化设计，全方面性能出色，可表征各种不同类型材料，提供最全面的信息。Axia ChemiSEM 是最新一代支持内置 ColorSEM 2.0 技术的钨灯丝扫描电镜，基于全新 TrueSight 能谱探测系统，ColorSEM 可以将元素与形貌信息实时同步显示。Color SEM 彩色成像技术让成分分布更直观，实时定量能谱分析让科研更高效。大舱门设计和最高可承受 10kg 的样品台，让样品制备过程更简单。

我们使用Axia ChemiSEM扫描电镜对钕铁硼的涂层进行观察（见图1）。我们的Axia ChemiSEM扫描电镜配备高质量的ETD和CBS两种探测器。CBS、ETD探测器可以同时成像，既可观察成分衬度，又能获取形貌信息（左图为ETD成像，右图为CBS成像）。从扫描电镜照片中我们可以观察到钕铁硼表面的涂层一共有3层，结合我们Axia ChemiSEM扫描电镜自带的TrueSight 能谱探测系统可知（见图2）：最上层和最下层主要是Ni层，中间主要为Cu层，由此更能显现出我们的Axia ChemiSEM扫描电镜获得的分析结果更高效、准确，可以解决用户的实实在在的问题。