【锲而不舍，“泵”技可展 】记中科科仪分子泵发展历程

分子泵是高真空和超高真空获得设备，是中科科仪主要产品之一。自 1977 年第一台立式涡轮分子泵诞生以来， 经过几代人不懈努力，已形成不同口径系列产品、不同功能系列产品和不同洁净程度系列产品。分子泵产量由起初年产几十台发展到年产数千台，为国家科研、生产等真空应用领域做出了巨大贡献。

中科科仪是国内分子泵技术引领者和标准起草者，是国内分子泵最大生产供应商。分子泵技术上屡屡创造国内第一，多次获得科学院、省部级和国家的技术肯定与奖励。

中科科仪分子泵发展历程可划分为四个阶段：

第一阶段：1977 年以前，分子泵基本原理实验实施阶段。该阶段主要包括分子泵叶列抽气设计、材料、加工成型、减振措施、电机及驱动试验等共性基础技术研究与试验验证，以及真空工艺、零件标准制定工作，为后期分子泵快速发展奠定了良好基础。

第二阶段：从 1977 年至 2002 年，油润滑分子泵发展阶段。该阶段主要包括分子泵入口从 DN100 到 DN400 系列油润滑分子泵研发、小批量制造、市场应用：包括分子泵单机控制器电子管驱动模式研制应用向简易集成变频驱动转变的技术研究及应用，以及由纯涡轮分子泵向复合分子泵探索研制。期间，填补了国内分子泵生产空白，为高能物理、表面科学、先进仪器等研究行业提供了重要研究条件。

第三阶段：从 2003 年至 2010 年，脂润滑分子泵 + 分子泵工业化大批量生产发展阶段。该阶段主要包括分子泵入口从 DN100 到 DN250 系列脂润滑分子泵研发、批量制造和市场应用：包括油润滑分子泵结构改进和性能提升；包括耐腐蚀性、抗冲击性系列功能性分子泵研制应用；包括分子泵控制器从单机单控向一机多配、自动识别方向研制；包括产品生产工艺、生产质量、生产方式大幅度改进，实现分子泵工业化大批量生产。该阶段实现了从微油油润滑泵到近似无油的脂润滑泵、从竖直安装到任意角度安装、从通用型分子泵向功能性分子泵发展；分子泵产量逐年大幅提高；应用领域除科学研究领域外大量走向工业化生产领域。

第四阶段：从 2011 年至今，磁悬浮分子泵 + 仪器分子泵发展阶段。该阶段主要包括分子泵入口从 DN200 到DN320 系列磁悬浮分子泵和 DN40 到 DN100 的仪器专用分子泵研发、批量制造和市场应用；包括部分脂润滑分子泵功能性开发；包括普通分子泵控制器模块化开发。该阶段完成了国家“02 重大专项”，填补了国内磁悬浮分子泵技术空白，实现了无油洁净真空获得设备批量生产，为国家半导体芯片研究生产行业提供技术支撑；同时仪器分子泵也正式进入国产高端仪器生产行业。未来充满希望，前景广阔。

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