测量时间1秒！显微分光膜厚仪轻松实现高精度测量

2023-02-02 17:21:22, 以光电串联世界 广胜科技无锡有限公司


显微分光膜厚仪


R&D ！ QC ！植入设备！都可简单实现高精度测量！
测量目标膜的绝对反射率，实现高精度膜厚和光学常数测试！（分光干渉法）

特长 Features


  • 膜厚测量中必要的功能集中于头部
  • 通过显微分光高精度测量绝对反射率（多层膜厚、光学常数）
  • 1点只需不到1秒的高速tact
  • 实现了显微下广测量波长范围的光学系      （紫外～近红外）
  •  通过区域传感器控制的安全构造
  • 搭载可私人定制测量顺序的强大功能
  • 即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数
  • 各种私人定制对应       （固定平台，有嵌入式测试头式样）



测量项目 Measurement item


  • 绝对反射率测量
  •  膜厚解析
  • 光学常数解析（n：折射率、ｋ：消光系数）

式样  Specifications


＊上述式样是带有自动XY平台。
＊ release 时期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3预定2016年9月。
＊ 膜厚范围是2SiO2换算


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