【线下活动】马尔文帕纳科即将亮相上海半导体展 Semicon China 2021

2022-07-29 19:07:32 马尔文帕纳科

Semicon China 2021

展期：2021年3月17日-19日

展馆：上海新国际博览中心

地址：上海市浦东新区龙阳路2345号

展位号：N3-3137

马尔文帕纳科

半导体行业薄膜测量解决方案

展位号 N3-3137

多年来，电子行业在硅半导体、数据存储、随机存取存储器(RAM)、集成电路(IC)和RF射频滤波器技术的支持下迅速发展，这些器件大多在硅晶片基板上采用多层薄膜。X射线晶片测量工具可用于监测和控制关键设备参数，是硅半导体工厂不可或缺的一部分。

此外，对高性能(光)电、高功率、高频设备的市场需求的日益增长，推动了当今化合物半导体行业的不断发展，以应对新的挑战。开发具有定制光学和电气特性的结晶薄膜、持续改进大批量生产流程以及增强质量管理，都是提高产量和控制此类设备成本的必要条件。X射线测量是一种经过验证的理想工具，也可帮助业界实现这些目标。

基于X射线技术（XRD、XRR 和 XRF）的测量工具已证明了其可靠和强大的性能。其他技术都不能为外延层、异质结构和超晶格系统的离位研究提供独特的优势组合，即无损测量、准确度、精度和绝对分析的组合。

此次半导体展，思百吉旗下三家公司：马尔文帕纳科（Malvern Panalytical），PARTICLE MEASURING SYSTEMS，SERVOMEX 联合参展，为半导体行业带来丰富、高效的分析测试解决方案。

2830ZT

圆晶分析仪

2830ZT圆晶分析仪专门针对半导体和数据存储行业而设计，能提供多种薄膜的厚度和成分信息，为多种晶片（直径达300mm）测定层结构、厚度、掺杂度和表面均匀性。凭借出色的轻元素分析性能（包括硼）和每小时高达25片晶片的样品处理能力，2830 ZT 成为半导体行业中出众的薄膜测量工具。适用于：

Logic，NAND，Flash，PRAM，DRAM，MRAM及圆晶代工制程的过程控制
SAW、BAW、FERAM、GMR/TMR存储器、硬盘
绝缘体和隔层
内部导线和金属膜
镀膜系统鉴定，如CVD、PVD

MalvernPanalytical

X''Pert3 MRD/XL

高分辨X射线衍射仪

X''Pert3 MRD 和 X''Pert3 MRD XL 高分辨 X 射线衍射仪能够提供完整、无需校准且准确的晶体生长信息，比如材料成分、薄膜厚度、渐变层图谱、晶相和界面层质量。此外，MRD平台还可用于对基板和薄膜中的缺陷进行高分辨率形貌成像，如马赛克特性和缺陷密度。该仪器可用于研究和生产环境中。在生产过程中，它可与自动晶片装载结合使用。解决方案适用于：

用于5G，光通讯，高功率器件以及Si、GaN、GaAs等材料结构质量控制的高分辨X射线衍射仪
全自动测定成分，厚度和结晶质量
非破坏性分析，超高精度
横向均匀性测量

薄膜测量

解决方案

最大化正常运行时间
多功能解决方案
极佳匹配的测试工具
从Lab 到 Fab 的完全集成
一流的服务和应用

电子行业相关解决方案

激光衍射（Mastersizer 3000激光粒度仪）能测量粉末和浆料分散中的颗粒粒度分布，例如化学机械抛光（CMP）浆料和电子显示器材料。

自动化成像技术（Morphologi 4 粒度粒形分析仪）使用自动化呈现分析颗粒形状和形态。

纳米粒度电位仪（Zetasizer 系列）通过测量Zeta电位来确定电子行业中所用浆料的稳定性。还可测量纳米颗粒悬浮液中的颗粒粒度。

GPC/SEC (OMNISEC凝胶渗透色谱仪) 能分析电子行业中所用聚合物的大小、分子量、特性粘度、支化度和其他参数。

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位置及交通

上海新国际博览中心地理位置图｜ 2021

Semicon China 展馆平面图｜ 2021

轨道交通｜ 2021

2号线、7号线龙阳路站

7号线花木路站

公司使命目标

Malvern Panalytical 的使命是通过对材料进行化学、物理和结构分析，打造出客户导向型创新解决方案和服务，从而提高效率和产生切实的经济影响。通过利用包括人工智能和预测分析在内的最近技术发展，我们能够逐步实现这一目标。这将让各个行业和组织的科学家和工程师可解决一系列难题，如最大程度地提高生产率、开发更高质量的产品及帮助产品更快速地上市。