你知道怎么检测精密位移产品吗？

对于平移台产品：

分辨率：分辨率是一个理论计算值，这个项目不进行检验。

精度(绝对定位精度)：从 基准点(原点)开始，在全行程上的某一方向(单方向)上，以一定间隔(选10个点，尽可能均布在全行程范围)依次驱动平移台并定位。分别实测在相应定位位 置上的位移值(即从原点算起的移动距离)，并和目标值(移动指令指示的理论距离)进行比较计算出位移偏差，找出所有测量点中的最大和最小偏差值，并定义其 差值为定位精度。

重复定位精度：我们在上文中已经提到，重复定位精度一般是指单向重复定位精度，重复定位精度的检验方法：在平移台的10个位置(尽可能均布在全行程范围)上，分别从同一个 方向定位5次。我们首先记录其停止位置(定位位置)的最大变化范围，然后定义以上10个位置中的最大变化值为重复定位精度。

空回：在平移台的10个位置(尽可能均布在全行程范围)上，分别从正方向和反方向驱动平移台并定位，并记录两个方向的停止位置(定位位置)的差异值。以上测量共进行5次，并求出其平均值。我们定义以上10个位置中平均值的最大值为空回。

直线度：直线度是指非轴向线性误差中的水平方向的分量。从基准点(原点)开始，在全行程上的某一方向(单方向)上，以一定间隔(选10个点，尽可能均布在全行程范围)依次驱动平移台并定位。在相应定位位置上，分别测量水平方向的差异量，我们定义其最大差值为直线度。

平直度：平直度是指非轴向线性误差中的垂直方向的分量。从基准点(原点)开始，在全行程上的某一方向(单方向)上，以一定间隔(选10个点，尽可能均布在全行程范围)依次驱动平移台并定位。在相应定位位置上，分别测量垂直方向的差异量，我们定义其最大差值为平直度。

对于旋转台产品：分辨率：分辨率是一个理论计算值，这个项目不进行检验。

精度(绝对定位精度)：我 们在上文中已经提到，重复定位精度一般是指单向重复定位精度，旋转台的重复定位精度的检验方法：从基准点开始，以一定间隔(结合12面棱柱体，角度差 30°)依次定位12个位置，在每个位置上，从两个方向分别定位5次。分别实测在相应定位位置上的位置值(即从原点算起的移动值)，并计算出和目标值(移 动指令指示的理论值)的差值。计算出某方向(单方向)的平均值和标准偏差，我们定义以上各个位置上的平均值±标准偏差中的最大值为重复定位精度。

空回：从 基准点开始，以一定间隔(结合12面棱柱体，角度差30°)依次定位12个位置，在每个位置上，从两个方向分别定位5次。分别实测定位时的位置的平均值， 并计算出在两个方向上的平均值的差异。我们称此差值为这个位置上的空回。我们定义以上各点的空回的最大值为此旋转台的空回。

端跳(端面跳动、轴向跳动)：旋 转台台面旋转一周(360°)时，在台面的垂直方向测量其位置变化，我们定义其变化量的最大值为端跳，示意图如右图。测试端跳时需要注意，受台面加工精度 和装配误差的影响，不能直接用千分表打在旋转台台面上测量，需要用测试工装(标准大理石量块，并调试为水平状态)配合。

径跳(径向跳动)：旋 转台台面旋转一周(360°)时，在台面的水平方向测量其位置变化，我们定义其变化量的最大值为径跳，示意图参照端跳中说明。测试径跳时需要注意，受台面 加工精度和装配误差的影响，不能直接用千分表打在旋转台台面的侧边测量，需要用测试工装(标准大理石量块，并调试为水平状态)配合。

对于角位移台产品：除了上述重复定位精度、空回等指标的检测外，角位移台有一个重要的指标：轴心偏移量。检测轴心偏移量的示意图如右图：