【光谱 · 芯力量】复享光学与您相约IC WORLD北京微电子国际研讨会！

依据IC WORLD大会“凝聚芯力量，打造芯永恒”主题，作为微纳制造领域全面智能光谱检测技术的领跑者，复享光学应邀参展，以光子/光电子/集成电路制程芯片等前沿概念，将携3款最新光学检测领域产品，带给观展者及半导体行业伙伴超凡的技术感官体验。

2021年北京微电子国际研讨会

暨IC WORLD大会

展会时间：  2021年10月22-24日

展会地点：  北京亦庄国际会展中心

展位号：  A-T13

诚邀莅临参观！

AR 光芯片检测

- 光芯片、光电子芯片检测方案 -

宏观角分辨光谱设备 R1：自动化运行，操作便捷，一套系统实现偏振、分子取向、光栅尺寸等多种测试功能，实现不同角度入射和接收光谱检测。

主要指标：

倾角误差：< 1°

周期误差：< 2 nm

检测效率：> 20 pcs/h

单层/多层薄膜厚度检测

- 集成电路设备模组 -

膜厚测量解决方案 filmX：多种测试系统形态，兼容不同膜厚测量场景，实现高精度、便捷的膜厚测量，适配产线使用。

主要指标：

厚度范围：10 nm ~ 250 μm

测试精度：±0.4%

层数：≤ 200 层

刻蚀设备终点检测

- 集成电路设备模组 -

高分辨光谱检测模块 NZ-OES：采用高分辨光学平台、低杂散设计，体积小、线性度高，兼容多种外触发采集模式。

主要指标：

信噪比：≥1000:1

积分时间：低至 1 ms

波长分辨率：最高 0.18 nm