就在明天！牛津仪器邀请您参加“薄膜沉积与外延技术与应用”主题网络研讨会
2021-10-12 11:11:19, 牛津仪器 牛津仪器科技（上海）有限公司
采用一定方法，使处于某种状态的一种或几种物质的基团以物理和化学方法附着于衬底材料表面形成一种新的物质，这层新物质就是薄膜。薄膜的制备主要技术包括薄膜沉积和外延技术。薄膜沉积和外延技术是半导体制造工艺中的非常重要的技术。
基于此，媒体将于2021年9月23日举办“薄膜沉积与外延技术与应用”主题网络研讨会，邀请业内专家以及技术人员就薄膜沉积与外延技术与应用等话题进行探讨。
牛津仪器很荣幸能受邀参加，欢迎感兴趣的学者与专家报名该研讨会，并与我们的应用科学家在线交流和探讨技术与应用！
01
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会议议程和报告简介
日程安排：
标题：如何用原子力显微镜评价高质量薄膜
摘要：近几年，由于2D材料的火热和半导体行业的飞速发展，高质量薄膜沉积和外延生长越来越受到关注。CVD技术是制备高质量薄膜的技术之一。如何评价高质量薄膜对优化工艺非常关键。原子力显微镜（AFM）是评价薄膜质量不可或缺的技术手段。在本次讲座中，主要用AFM评价薄膜质量，材料涉及衬底、2D材料、半导体材料，量子点等，评价涉及薄膜生长机制、表面不均匀性、缺陷类型、薄膜粗糙度、力学性质、电学性质等，从而实现对薄膜质量的全面评估。
报名方式：
扫描二维码即刻报名
或点击阅读原文
02
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报告人简介
刘志文 高级应用科学家
牛津仪器
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产品与解决方案
Cypher ES AFM
Cypher ES 具有与 Cypher S 相同的高分辨率、速度和稳定性，同时在气体或液体环境（0-250°C），甚至某些恶劣的化学环境下也能轻易地操作实验。对于那些有苛刻要求的实验来说，Cypher ES AFM是十分理想的选择。
容易实现的原子级高分辨成像
快速扫描，扫描时间以秒计，而非分钟
每一步操作都很简单，效率高
占用实验室空间小，研发能力的提升潜力巨大
可通过密闭的腔室进行气体和液体灌注
可将样本温度控制在0-250°C 的范围内
具有与刺激性化学品的广泛相容性
Jupiter XR™是一款适合大尺寸样品的原子力显微镜。通过它，用户可以实现在一台扫描器上进行高速成像和大范围扫描。Jupiter原子力显微镜可用于200mm晶圆样品的扫描，提供更高的分辨率、更快的测量速度、更简便的用户体验，并且在学术研究和工业研发领域都具有出色的通用性。
与同类大样品原子力显微镜相比，具有更高的分辨率
扫描范围可达100 μm，其速度比大多数原子力显微镜快5-20倍
从设置到获得结果，每一步都更简便、更快速
Info.CHINA@oxinst.com
*点击"阅读原文"，即刻报名
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