应用案例 | 扫描电子显微镜在电子行业材料领域的应用

在半导体领域中，扫描电镜可以用来分析材料成型机理，器件失效分析，工业工艺控制等问题，对研究和生产有着至关重要的作用。

（1）材料的表面形貌观察

通过扫描电镜观察材料表面形貌，为研究样品形态结构提供了便利，有助于监控生产产品质量，改善工艺。观察的主要内容是分析材料的几何形貌、材料的颗粒度及颗粒度的分布、物相的结构等。

（2）涂镀层表面形貌分析与镀层厚度测量

♦涂镀层表面形貌分析

通过对涂层表面形貌观察与分析涂层颗粒尺寸，涂层与基材结合，可以有效的对涂层质量进行管控。材料断面的失效分析 、组织内的结构和损伤形貌，都可借助扫描电镜来判断和分析。

♦涂镀层厚度测量

涂镀层厚度直接影响零件或产品的装饰效果、耐腐蚀性、导电性、产品的可靠性和使用寿命。镀层厚度在产品质量、过程控制、成本控制中都发挥着重要作用。使用扫描电子显微镜能精确测量材料镀层厚度，且成像清晰，效果直观。

（3）材料的微区化学成分分析

分析过程中，获得形貌放大像后,往往希望能同时进行原位化学成分或晶体结构分析,提供包括形貌、成分、晶体结构或位向在内的更多信息,以便能更全面、客观地进行判断分析。

扫描电镜的实际应用案例展示

（1）太阳能电池，需要硅片表面正面银浆涂层进行形貌观察，得到如下结果。

（2）对LED芯片进行内部结构观察。

EM科特台式扫描电镜拥有5nm超高分辨率，10nm背散射分辨率。高空间利用率与便携性能使我们的台式扫描电镜设备可安装在任何位置，不受场地约束（遵循客户服务手册）。无需对校准电子枪，抽真空时间快速，不需在等待。

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