聚焦先进制程，共筑检测基石 —— “半导体电子特气发展趋势与检测技术创新交流会”成功举办‌

随后上海市计量测试技术研究院有限公司总经理助理、科技信息处处长，全国气体标准化技术委员会委员 ‌陈鹰‌ 正高级工程师代表主办方致辞。

珀金埃尔默半导体项目负责人 ‌黄清发‌ 在《珀金埃尔默电子特气检测方案及国产化进程》报告中，系统介绍了从‌原料检验（IQC）、过程监控（IPQC）到成品检测（FQC）的全流程质量控制解决方案‌。该方案核心涵盖了气相色谱仪（GC）、气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）、傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）、紫外分光光度计（UV）及电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）等先进仪器，可精准分析各类电子特气中的痕量杂质。

报告特别重点介绍了创新的气体直接进样-ICPMS（GDI-ICPMS）技术‌。珀金埃尔默外聘专家 ‌Tommy Lee‌ 在《GDI-ICPMS气体分析方案》报告中，通过详实的数据对比和应用案例（包括在韩国市场的成熟应用），充分展示了该技术相比传统鼓泡吸收法的颠覆性优势：‌直接进样、无前处理污染、分析前处理时间仅需约5分钟、接近100%的金属杂质回收率、以及低于0.1 ppt的超高灵敏度‌。GDI-ICPMS技术为半导体制造中金属杂质的精准、快速、安全监控提供了强大的支持。

同时，孙猛博士也提醒行业需保持理性，关注部分品种可能出现的‌产能规划过剩‌风险，未来应加强‌核心技术攻坚、产业链协同优化和市场理性布局‌。

在圆桌论坛环节，‌孙猛博士、魏王慧高工‌与特邀专家‌汤剑波、宛志文‌以及‌Tommy Lee‌同台，围绕 ‌“国内半导体电子特气的市场前景”、“国产化进程的深化路径”、“标准化体系建设”以及“韩国电子特气市场及技术趋势”‌ 等热点议题展开了深入讨论。现场交流热烈，专家们的真知灼见为行业发展提供了多元视角和前瞻思考。

作为行业的重要参与者与本次会议的支持方，珀金埃尔默以实际行动践行对中国市场的承诺。位于‌苏州太仓的制造与供应链中心‌自2017年投产以来，已成功实现了包括原子吸收光谱仪（AAS）、气相色谱仪（GC）、紫外可见分光光度计（UV）、电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）等多条核心产品线的本土化生产。通过持续构建‌稳定可靠的本地化供应链体系‌，并在生产全过程恪守‌ISO9001国际质量体系‌，珀金埃尔默确保了“中国制造”拥有“世界一流”的品质，致力于以更快的响应速度和更优的服务，为中国半导体材料产业的‌高质量发展与供应链自主可控‌提供坚实的技术保障。