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S8000G FIB-SEM的优点:
· 新一代镜筒内电子加速、减速技术,保证了复杂样品的低电压高分辨观测能力
· 首次配置的静电-电磁复合物镜,物镜无磁场外泄,实现磁性样品高分辨成像及分析
· 配置4个新一代探测器,可实现9种图像观测,对样品信息的采集更加全面
· 配置大型样品室,有超过20个扩展接口,为原位观测、分析创造了良好的工作环境
· 可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件,并独家实现与TOF-SIMS、Raman联用
· 新一代操作软件和自动功能,FIB镜筒具有全自动的离子镜筒对中,极大简化了操作
· 概述
新一代 Orage™ Ga FIB镜筒,适用于各类具有挑战性的纳米加工任务TESCAN S8000配置了最新的BrightBeam™镜筒,实现了无磁场超高分辨成像,可以最大化的实现各种分析,包括磁性样品的分析。新型镜筒中的电子光路设计增强了低能量电子成像分辨率,特别适合对电子束敏感样品和不导电样品的分析。创新的Orage™ Ga FIB镜筒配有最先进的离子枪和离子光学镜筒,使得TESCAN S8000G成为了世界顶级的样品制备和纳米图形成型的仪器。S8000G束流可达100nA,具有超快速的加工能力,新颖的SmartMill高速切割功能,使得加工效率提升一倍。S8000G离子能量最低可达500eV,拥有更优秀的低压样品制备能力,可以快速制备无损超薄TEM样品。可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件,并独家实现与TOF-SIMS、Raman一体化。新一代OptiGIS™气体注入系统S8000可配置最新的多种探测器,包括透镜内Axial detector 以及 Multidetector,可选择不同角度和不同能量来收集信号,体现更多种类的信息,同时获得更好的表面灵敏度和对比度。S8000G有两种气体注入系统可供选择,标准的5针-GIS和新一代OptiGIS单针-GIS,单针的OptiGIS支持通过更换气罐来更换化学气体,避免了以往多针气体注入系统样品仓内占用空间大的问题。两种气体注入系统均可以选择多种沉积气体,其中W、Pt、C等用于导电材料沉积,SiOx用于绝缘材料沉积,XeF2、H2O等用于增强刻蚀,或其它定制气体。新一代Essence™操作软件,更简单、高效的操作平台S8000可配置最新的多种探测器新操作软件极大简化了用户界面,能快速访问各主要功能,减少了繁琐的下单菜单操作,并优化了操作流程向导,易于学习,兼容多用户需求,可根据工作需要定制操作界面。新颖的样品舱内3D空间位置和移动轨迹模拟功能,可避免误操作,造成碰撞。样品舱内的3D空间位置和移动轨迹模拟
S8000G型镓离子聚焦离子束双束扫描电镜可满足现今工业研发和学术界研究的所有需求, S8000G FIB-SEM
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