日本电子SXES软X射线分析谱仪 SXES、WDS、EDS的比较

• 产品规格：
  

• 能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）
  

• 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV

• 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV

• 分光谱仪艙安装位置：

• EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）

• FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）

• 分光谱仪尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm

• * 从接口包括CCD的距离

• 分光谱仪重量　25kg

• 适用机型

• EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200

• SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

• 产品特点：

• 锂离子二次电池（LIB）分析实例

• 能观察到LIB的充电量

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• 充满电后Li-K样品的谱图

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  说明: 由于理论上的原因，氧化锂的检测很困难
  

• 轻元素的测试实例

• SXES测试碳素化合物的实例

• 可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。

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• 各种氮素化合物的测试实例

• 氮素也可以根据波形分析化学结合状态。 硝酸盐和氮化物的波形完全不同，还能观察到易受电子束损伤的铵盐的独特波形。

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• 系统简介
  

• zei新开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分佈图

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• SXES、WDS、EDS的比较

• 各种分光方法中氮化钛样品的谱图

• 即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。

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• 比较表

特征	SXES	EPMA(WDS)	EDS
分辨率	0.3 eV (费米边处 Al-L)	8 eV (FWHM@Fe-K）	120-130 eV (FWHM@Mn-K）
化学结合状态分析	可以	可以(主要是轻元素)	不可以
并行检测	可以	不可以 (但分光谱仪台数范围即可)	可以
分光晶体和检测器	衍射光栅＋CCD	分光晶体＋正比计数管	SDD
检测器冷却	珀尔帖冷却	不需要	珀尔帖冷却
检测限(以B作為參考值)	20ppm	100ppm	5000ppm

• 软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。
  和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

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软X射线分析谱仪

• 软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

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