用于 1 sccm 到 100 slm 流量的层流元件

molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。molbloc 流量路径位于 molbloc 内，是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。通过调整这个间隙的尺寸，可获得不同的 molbloc 量程。对于高流量量程（1E4 尺寸及以上），需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 机体。

特性一览

可与现有的 molbox1+ 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用
整合了过滤器，可保护其免受污染
完整的气体温度调节和测量
连续、实时的读数
可以实现全自动
无活动部件

molbloc-L 量程
molbloc 尺寸由一些相对于标称流量阻抗的数字指定。在 250 kPa 绝压 (36 psia) 上游压力和 50 kPa (7.5 psid) 压力差的情况下，当氮气流经 molbloc 时，标称阻抗可产生标称流量量程。在实践中，molbloc 流量量程可能与标称流量量程差别很大。这些差别来自气体之间的密度和粘性之间的差别，也来自不同的 molbloc 工作压力校准选项。

技术指标 - 特级 molbloc-L 校准 - 与 molbox1+ 终端结合使用
测量更新速率	1 秒
范围	从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力取决于校准类型（请参阅第 1.2.5.1.2 节）
分辨率	0.0015 % FS
线性	±0.05% 读数，从 10% 到 100% FS ±0.005% FS，在 10% FS 以下
重复性	±0.05% 读数，从 10% 到 100% FS ±0.005% FS，在 10% FS 以下
精确度¹	±0.07% 读数，从 10% 到 100% FS 10％ FS 下为 ±0.007％ FS
稳定度² （1 年期）	±0.03% 读数，从 10% 到 100% FS 10％ FS 下为 ±0.003％ FS
测量不确定度³	±0.125% 读数，从 10% 到 100% FS 10％ FS 下为 ±0.0125％ FS
（N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体）	1E5 molbloc-L 特级校准不可用
¹ 精确度：包含线性度、迟滞和可重复性。 ² 稳定度：典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测，因此应该根据经验建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的稳定度。 ³ 测量不确定度（精确度）：molbox1+ 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。

技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox RFM 终端结合使用
	molbloc-L（量程从 1E1-L 到 3E4-L）
测量更新速率	1 秒
范围	从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力，取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 量程表）
分辨率	0.01% FS
线性	±0.23% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.023% FS，在 10% FS 以下
重复性	±0.1% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.01% FS，在 10% FS 以下
精确度¹	±0.25% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.025% FS，在 10% FS 以下
预测的稳定度² （一年期）	±0.15% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.015% FS，在 10% FS 以下
测量不确定度³	±0.5% 读数，从 10% 到 100% FS；±0.05% FS，在 10% FS 以下

具有微量程选项的 molbox RFM
	molbloc-L（量程从 1E1-L 到 3E4-L）	molbloc-L（量程仅仅是 1E5)
测量更新速率	1 秒	1 秒
范围	从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力，取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 表）	从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力，取决于校准类型（请参阅 molbloc-L 表）
分辨率	0.01 % FS，在 0.001 % FS 以下；0.001 % FS，在 10% FS 以下	0.01% FS
线性	±0.23% 读数，从 1% 到 100% FS ±0.0023% FS，在 1% FS 以下	±0.25% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.0125% FS，在 5% FS 以下
重复性	±0.1% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.001% FS，在 1% FS 以下	±0.2% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.01% FS，在 5% FS 以下
精确度¹	±0.25% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.0025% FS，在 1% FS 以下	±0.32% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.016% FS，在 5% FS 以下
预测的稳定度² （一年期）	±0.15% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.0015% FS，在 1% FS 以下	±0.2% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.01% FS，在 5% FS 以下
测量不确定度³	±0.5% 读数，从 1% 到 100% FS；±0.005% FS，在 1% FS 以下	±0.5% 读数，从 5% 到 100% FS；±0.025% FS，在 5% FS 以下

技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox1+ 终端结合使用
测量更新速率	1 秒
范围	从 0 到 molbloc 满刻度，取决于气体和 molbloc 压力取决于校准类型（请参阅第 1.2.5.1.3 节）
分辨率	0.0015 % FS
线性	±0.05% 读数，从 10% 到 100% FS ±0.005% FS，在 10% FS 以下
重复性	±0.05% 读数，从 10% 到 100% FS ±0.005% FS，在 10% FS 以下
精确度¹	±0.07% 读数，从 10% 到 100% FS 10％ FS 下为 ±0.007％ FS
稳定度² （1 年期）	±0.09% 读数，从 10% 到 100% FS 10％ FS 下为 ±0.009％ FS
测量不确定度³	±0.2% 读数，从 10% 到 100% FS 10％ FS 下为 ±0.02％ FS
（N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体）	1E5 molbloc ±0.5% 读数，从 25% 到 100% FS ±0.125% FS，在 25% FS 以下
¹ 精确度：包含线性度、迟滞和可重复性。 ² 稳定度：典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测，因此应该根据经验建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的稳定度。 ³ 测量不确定度（精确度）：molbox1+ 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。

型号	描述
1E1 VCR-V-Q	molbloc 质量流元素每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容：存储和运输箱柔软的，可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明全模，低压氮气 (N2) 校准。其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据
5E1 VCR-V-Q	molbloc 质量流元素每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容：存储和运输箱柔软的，可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明全模，低压氮气 (N2) 校准。其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据
1E2 VCR-V-Q	molbloc 质量流元素每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容：存储和运输箱柔软的，可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明全模，低压氮气 (N2) 校准。其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据
2E2 VCR-V-Q	molbloc 质量流元素每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容：存储和运输箱柔软的，可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明全模，低压氮气 (N2) 校准。其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据
5E2 VCR-V-Q	molbloc 质量流元素每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容：存储和运输箱柔软的，可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明全模，低压氮气 (N2) 校准。其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据
1E3 VCR-V-Q	molbloc 质量流元素每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容：存储和运输箱柔软的，可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明全模，低压氮气 (N2) 校准。其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据
5E3 VCR-V-Q	molbloc 质量流元素每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容：存储和运输箱柔软的，可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明全模，低压氮气 (N2) 校准。其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据
1E4 VCR-V-Q	molbloc 质量流元素每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容：存储和运输箱柔软的，可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明全模，低压氮气 (N2) 校准。其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据
3E4 VCR-V-Q	molbloc 质量流元素每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容：存储和运输箱柔软的，可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明全模，低压氮气 (N2) 校准。其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据
1E5 VCR-V-Q	molbloc 质量流元素每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容：存储和运输箱柔软的，可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明全模，低压氮气 (N2) 校准。其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据
molbloc-S 校准选件	低压 20 到 200 kPa（3 到 30 psia） molbloc 上游（指定溢价或标准）标准压力 50 到 500 kPa（7 到 70 psia） molbloc 上游（指定溢价或标准）高压 200 到 2000 kPa（30 到 300 psia） molbloc 上游（指定溢价或标准）