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准分子激光器: CL 7000
准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
CL7000技术参数:
激光介质
ArF
KrF
XeCl
波长 (nm)
193
248
308
最大脉冲能量 (mJ)
250
400
300
最大重复频率 (Hz)
CL 7020
20
CL 7050
50
CL 7100
100
最大平均功率 (W)
5
8
6
10
15
35
25
脉冲能量稳定度(sigma, %)
< 2
光斑尺寸 (VхH, mm)
23 х 8
23 х 9
23 х 11
尺寸 (LхWхH, mm)
4.5 х 1.5
脉冲持续时间 (FWHM, ns)
17
冷却方式
风冷
CL 7050/CL 7100
水冷
重量 (kg)
170
1430 х 380 х 760
电源
CL 7020CL 7050/CL 7100
220 V, 50 Hz, < 1500 VA220/380 V, 50 Hz, <3500 VA
选功能和附件:
F2,157nm型号可选
1000Kz型号可选窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1
CL 7000主要特点特点:陶瓷放电激光腔设计,长寿命激光腔,电子系统一体化设计功率稳定运行模式预混合供气,使用简单计算机控制
相关图片:
准分子激光激光沉积镀膜(PLD)系统示意图
准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图
CL7000系统机械尺寸图
应用 :
准分子激光脉冲沉积镀膜准分子激光光栅光纤(FBG)刻写准分子激光材料加工,微纳制造,光刻
关于俄罗斯OptoSystems公司:
俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。
准分子激光器: CL 7000,CL 7000
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GB/T 15301-1994 气体激光器总规范
GB/T 4799-2001 激光器型号命名方法
SJ 20531-1995 气体激光器总规范
GB/T 15313-2008 激光术语
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GOST R ISO 13695-2010 光学和光子学 激光器及激光相关设备 激光器光谱特性的测试方法
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KS C IEC 60825-4:2015 激光产品的安全 第4部分:激光监视器
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