MLT-DV系列干式螺杆泵
MLT-DV系列干式螺杆泵坚固紧凑耐腐蚀且易与系统集成,非常适合镀膜,光电和工业应用。 全新的干泵平台MLT-DV干式真空泵的新标杆,MLT-DV系列真空泵在设计中充分考虑了太阳能行业的特殊工艺...
MLT-DV系列干式螺杆泵,坚固紧凑耐腐蚀且易与系统集成,非常适合镀膜,光电和工业应用。
全新的干泵平台MLT-DV干式真空泵的新标杆,MLT-DV系列真空泵在设计中充分考虑了太阳能行业的特殊工艺对真空泵的要求(如,PECVD,PVD,晶体的生长等等),同时满足工业应用和真空镀膜对干泵的要求。MLT-DV系列产品和机组,可靠耐用,适合严苛的工艺条件。
一个平台,多种方案;MLT-DV系列包括下列版本:①MLT-DV 450;②MLT-DV 650-r;③MLT-DV 650S;④MLT-DV
650S-i;⑤MLT-DV 650C;⑥MLT-DV 650C-i;⑦MLT-DV 650C-r;⑧MLT-DV 1200;⑨MLT-DV
1200S-i;⑩MLT-DVR 5000C-i。
MLT-DV版本及针对性应用
MLT-DV系列标准版和MLT-DV
S版产品优化了在高压强(100mbar以上)下的抽速适合短节拍抽空(例如,进样室),也适合大腔室抽空。同时,这两款产品具备工业应用所要求的全部特性(例如,热处理工艺,工业镀膜,高压电器制造,乏染料干燥),完全满足各种工业应用的要求。MLT-DV
C系列产品为太阳能应用设计,适合在严苛的工艺条件下,连续高负荷地可靠运行。MLT-DV
C系列的性能针对太阳能应用和平板显示器工业中的典型气体进行优化,设计合理,性能卓越,完全满足应用对工艺和安全的要求。MLT-DV
i系列产品配置了外壳和脚轮。通过触摸屏操控,菜单带有向导功能简单易学,并提供远程控制的总线接口。
MLT-DV系列产品的特点:
最小化运行成本,最小化占地面积和空间要求,最小化安装时间,最小化能耗;
最大化灵活性,最大化可靠性,最大化工艺气载,最大化无故障运行时间;
抽速曲线:
MLT-DV系列产品的设计特点:
• 水冷
• 低能耗:MLT-DV 650S在10mbar以下运行功耗仅为7KW
• 能效等级 IE2
• 全密封设计
• 内置变频器,对工作电压和工作频率的适应性强
• 内置变频器,不需要额外的电机保护
• 符合NRTL(cTUVus认证)
• 符合RoHS标准(2002/95/EG,Restriction of Hazardous Substances)
MLT-DV系列产品优势:
• 结构紧凑,占地最小;
• 能耗最低;
• 连接方式灵活;
• 噪音低;
• 可靠性高;
• 具备自动监控功能;
• 不会发生意外停机;
• 最低的保养需求;
技术参数:
型号 |
|
MLT-DVR 5000-i |
MLT-DV 1200-i |
MLT-DV 1200 |
MLT-DV 650-i |
MLT-DV 650 |
MLT-DV 450 |
抽速50Hz |
m³/h |
5000 |
1250 |
1250 |
650 |
650 |
450 |
抽速60Hz |
m³/h |
3800 |
1250 |
1250 |
650 |
650 |
450 |
极限压强 |
mbar |
< 5×10-4 |
< 5×10-3 |
< 5×10-3 |
< 5×10-3 |
< 5×10-3 |
< 5×10-3 |
极限压强下的能耗 |
KW |
≦9.5 |
≦14 |
≦14 |
≦7 |
≦7 |
≦5.5 |
重量 |
Kg |
1200 |
1400 |
1400 |
750 |
580 |
620 |
噪音 |
dB(A) |
65 |
65 |
65 |
65 |
65 |
65 |
进气口连接 |
DN |
DN250 |
DN100 |
DN100 |
DN100 |
DN100 |
DN100 |
排气口连接 |
DN |
DN 63 ISO-K或50KF |
DN 100 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
DN 63 ISO-K |
DN 63 ISO-K |
DN 63 ISO-K |
电气连接 |
|
380-480V,50/60Hz |
380-480V,50/60Hz |
380-480V,50/60Hz |
380-480V,50/60Hz |
380-480V,50/60Hz |
380-480V,50/60Hz |
400V下的额定功率 |
KW |
21 |
30 |
30 |
15 |
15 |
11 |
400V的额定电流 |
A |
35 |
62 |
62 |
31 |
31 |
24 |
冷却方式 |
|
水冷 |
水冷 |
水冷 |
水冷 |
水冷 |
水冷 |
冷却水温度范围 |
℃ |
5—35 |
5—35 |
5—35 |
5—35 |
5—35 |
5—35 |
冷却水流量 |
1/min |
11 |
15 |
15 |
7.5 |
7.5 |
6 |
环境温度 |
℃ |
+ 5 to + 40 |
+ 5 to + 40 |
+ 5 to + 40 |
+ 5 to + 40 |
+ 5 to + 40 |
+ 5 to + 40 |
保护等级 |
IP |
20 |
20 |
54 |
20 |
54 |
54 |
外形尺寸 |
mm |
1370×677×1105 |
1370×677×1105 |
1370×677×1105 |
1340×677×681 |
1280×570×420 |
1280×470×420 |
米立特MLT-DV系列干式螺杆泵,MLT-DV
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