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• VacIon Plus 是安捷伦科技旗下的知名的离子泵产品家族,包括全系列离子泵、 控制电源、可选配件及附件。可为各种应用提供相应解决方案。除标准产品外, 安捷伦科技还为特定应用提供包括电源及相关附件在内的专属解决方案,以满足 用户对起始工作压强、离子泵工作范围以及不同成份混合气体等指标的特殊要求。
• VacIon Plus 离子泵产品家族拥有Diode 二极型、Noble Diode 钽阴极二极型以 及Starcell 三极型泵在内的全系列产品,以超高真空获得技术为众多应用 领域服务。除MiniVac 和Dual 两款离子泵电源外,新4UHV 离子泵控制器则 为不同应用提供了更为丰富的选择。
Miniature Pump
2 l/s Pump
10 l/s Pump
Vaclon Plus 20
Vaclon Plus 40
Vaclon Plus 55
Vaclon Plus 75
Vaclon Plus 150
Vaclon Plus 300
Vaclon Plus 500
进气口法兰
2 3/4”OD CFF (NW 35)
4 1/2”OD CFF (NW 63)
6” OD CFF (NW 100)
8” OD CFF (NW 150)
组件类型
Diode
StarCell Noble Diode Diode
抽速(l/s)(Saturated Pump at 1-6 mbar)氮气
0.2
2
10
20
22
27
34
36
40
50
53
55
65
68
75
125
135
150
240
260
300
410
440
500
工作寿命(Hours) (at 1-6 mbar)
N/A
8000
40000
80
最大启动压力(mbar)
1x10-4
≤1x10-4
10-2
10-3
最大烘烤温度(°C)
400 (without magnet)150 (with magnet)
350
重量kg (Ibs)
Net 0.3 (0.66)Shipping 0.6 (1.33)
Without magnet4 (9)
Net 7 (15)Shipping 11 (24)
Net 17 (37)Shipping 21 (46)
Net 18 (39)Shipping 22 (48)
Net 19 (42)Shipping 23 (51)
Net 43 (94)Shipping 53 (110)
Net 69 (149)Shipping 84 (185)
Net 120 (264)Shipping 135 (297)
半导体行业认证
–
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