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超声波雾化聚合物沉积系统-定制
超声波雾化聚合物沉积系统利用超声波雾化聚合物单体,随后通入反应腔体,进行聚合沉积,UV紫外灯固化。
基片大小:8英寸及以下
基片台温度:室温~70度
设备结构示意图:
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