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发布时间:2022年06月
雪迪龙ORTHOPure -ppt-ppb-ppmHDID适用于O2,N2,H2,He,Ar,CO,CO2,H2O,CH4,NMHC项目,参考多项行业标准。可以检测过程气体等样品。可应用于电子/半导体行业领域。
电子特气的品质主要取决于其纯度和净度,一旦纯度或是净度不达标,轻则使得下游产品质量不过关,重则扩散污染整条产品线,造成严重浪费。为了保证产品的合格率,避免经济损失,半导体制造商会对气体供应商提供的气体纯度做出严格要求,通过使用多种气体纯化技术并实时连续监测气体纯度,以确保输送到制造全过程的超纯气体的质量。雪迪龙公司为半导体制造商提供过程气体分析一站式解决方案,在电子特气进入硅晶圆制造工艺之前,就开启连续监测,并通过自主研发的软件包实时分析和反馈,满足对晶圆制造过程中各种气体及杂质进行在线实时监测的需求。
HDID/HE系列利用氦离子化检测器来测量氦气(He)、氩气(Ar)、氢气(H₂)、氮气(N₂)、氧气(O₂)、二氧化碳(CO₂)、氪气(Kr)或氙气(Xe)中的痕量杂质气体,包括氖气(Ne)、氢气(H₂)、氩气(Ar)、氧气(O₂)、氮气(N₂)、氪气(Kr)、甲烷(CH₄)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO₂)、氙气(Xe)等。
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雪迪龙大气立体环境走航观测车MCS-900A
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