国仪量子扫描电镜SEM5000可以用在新能源行业领域，用来检测光伏电池，可完成表面缺陷和结构形状项目。符合多项行业标准太阳能电池绒面的研究。
电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
| 关键参数 | 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV |
| 加速电压 | 20 V ～ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 |
| 摄像头 | 双摄像头 （光学导航+样品仓内监控） | |
| 行程 | X: 115 mm，Y: 115 mm，Z: 65 mm T: -10°～ +70°, R: 360° | |
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内高角度电子探测器 侧向低角度电子探测器 |
| 选配 | 平插式中角度背散射电子探测器 STEM自动伸缩式扫描透射探测器 样品交换仓 高速束闸和电子束曝光 EDS能谱仪 EBSD背散射衍射 EBIC电子束感生电流 CL阴极荧光 高低温原位拉伸台 纳米机械手 大图拼接 | |
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。
电子枪类型：高亮度肖特基场发射电子枪
分辨率：1.0 nm @ 15 kV；1.5 nm @ 1 kV
放大倍率：1 ~ 2,500,000 x
加速电压：20 V ~ 30 k
样品台：五轴全自动样品台
分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
扫描电镜SEM5000 场发射扫描电镜 扫描电镜在太阳能电池领域的应用,SEM5000
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