Name: EPMA-8050G电子探针显微分析仪
Brand: 岛津
SKU: EPMA-8050G

产品介绍

创新点

　　实现微区超高灵敏度分析的先进技术

　　1. 高亮度肖特基发射体场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析不可缺少的稳定大电流。

　　2. EPMA专用电子光学系统电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可变光阑透镜来形成交叉点的。简单的透镜结构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设定zei合适的打开角度，将电子束压缩到zei细。当然是不需要更换物镜光阑的。

　　3. 超高真空排气系统电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔(orifice)间隔方式的2 级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到zei小，以控制流入中间室的气体，使电子枪室始终保持着超高真空，确保发射体稳定工作。

　　4. 高灵敏度X射线谱仪zei多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。52.5°的 X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品对X射线的吸收，实现高灵敏度的分析。

“The Grand EPMA” 诞生

搭载高质量场发射电子光学系统
将岛津EPMA分析性能发挥到极致

从SEM观察条件到1μA量级，在各种束流条件下都拥有优越空间分辨率的尖端场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪，将分析性能发挥至极致。

当之无愧的“The Grand EPMA” ，高水准的EPMA诞生！

更高分辨率面分析

对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像（左侧）上直径只有50nm左右的Sn颗粒，在X射线图像（右侧）上也是清晰可见。

优异的技术实现

■ 优越的空间分辨率
EPMA可达到的更高级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV）分析条件下No.1的二次电子分辨率。
（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

■ 二次电子图像高分辨率高达3nm
碳喷镀金颗粒的观察实例。实现更高分辨率
3nm（@30kV）。相对较高的束流也可将电子束压
细聚焦，更加容易的获得高分辨率的SEM图像。

■ 大束流更高灵敏度分析
实现3.0μA（加速电压30kV）的超大束流。
全束流范围无需更换物镜光阑。

■ 至多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪
无人可及的52.5°X射线取出角。
4英寸罗兰圆半径兼顾高灵敏度与高分辨率。
至多可同时搭载5通道相同规格的X射线谱仪。

■ 全部分析操作简单易懂
全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。
追求「易懂」的人性化用户界面。
搭载导航模式，自动指引直至生成报告。

更高灵敏度面分析

使用1μA束流对不锈钢进行5000倍的面分析。精细地捕捉到了Cr含量轻微不同形成的不同的相（左侧），同时也成功地将含量不足0.1%的Mn分布呈现在我们眼前（右侧）。

实现微区更高灵敏度分析的先进技术

1　高亮度肖特基发射体
场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析不可缺少的稳定大电流。

2　 EPMA专用电子光学系统
电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可变光阑透镜来形成交叉点的。简单的透镜结构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设定更合适的打开角度，将电子束压缩到更细。当然是不需要更换物镜光阑的。

3　更高真空排气系统
电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔（orifice）间隔方式的2级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到最小，以控制流入中间室的气体，使电子枪室始终保持着超高真空，确保发射体稳定工作。

4　高灵敏度X射线谱仪
至多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品对X射线的吸收，实现高灵敏度的分析。

特点详述

优越的空间分辨率

使用分析条件束流，引以为傲No.1的二次电子图像分辨率。（加速电压10kV时，20nm@10nA//50nm@100nA/150nm@1μA）。与原来的电子枪（CeB6、钨灯丝）的结果相比，一目了然。

由于可用更大的束流得到与原来电子枪相同分辨率的图像，所以可进行更高灵敏度的X射线分析。更加值得注意的是，束流为1μA时的SEM图像。能够得到1μA以上束流，而且可以压缩到如此细的岛津产品只有EPMA-8050G。

各种电子枪产生电子束的特性比较（加速电压10kV）

大束流更高灵敏度分析

场发射类型的SEM、EPMA可实现其他仪器所不能达到的大束流（加速电压30kV时可达3μA）。在超微量元素的检测灵敏度上实现了质的飞跃，将元素面分析时超微量元素成分分布的可视化成为现实。而且，所有束流范围内不需要更换物镜光阑，完全不用担心合轴，实现了高度自动化分析。

面的3个图像为不同束流下，对不锈钢中约1%左右Si进行面分析的结果※。束流越大，偏差越小，越能更加清楚的确认包含Si的范围。

※ 分析条件：加速电压10kV，积分时间50msec。分析花费时间约1小时。

至多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪

X射线取出角决定分析性能，52.5°更胜一筹

对X射线的吸收越少，灵敏度越高。

高X射线取出角，可降低吸收带来的影响，可以对深孔底部、孔中异物进行分析。

对深孔中异物的分析实例。左下为铁（Fe）的分布，右下为钛（Ti）的分布。通过EPMA-8050G的高取出角，即使是表面明显凹凸不同的样品，也可进行高精度分析。

分光晶体采用全聚焦约翰逊型晶体。

秉承岛津研发经验的晶体加工制备工艺，保证提供高灵敏度·高分辨率兼备的分光晶体。Johanson(约翰逊)型分光晶体是全聚焦晶体，无像差。

至多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度、高分辨率的4英寸谱仪。

X射线谱仪罗兰圆直径是影响EPMA分析性能至关重要的因素之一。罗兰圆半径每增加1英寸，检出灵敏度下降30%以上。岛津EPMA至最多同时搭载5通道覆盖全部分光范围的4英寸谱仪。

谱仪构成

各分光晶体可分析元素以及推荐谱仪组合实例。

应对谱仪的多通道安装，我们配备有多种分光元件，可根据分析目的选择最适合的分光元件。岛津EPMA在设计上无需更换物镜光阑，就可发挥最佳性能。X射线谱仪也贯彻这种理念，分析时无需选择罗兰圆直径、切换狭缝，就可兼顾最佳的灵敏度与最高的分辨率。

	定性分析	定量分析	面/线分析	状态分析
兼顾灵敏度与分辨率的 X射线谱仪（岛津EPMA）	○	○	○	○
兼顾灵敏度与分辨率的 X射线谱仪（岛津EPMA）	※所有的分析模式都可实现最佳分析条件的只有兼顾灵敏度和分辨率的岛津X射线谱仪。
重视灵敏度的 X射线谱仪	△ 峰容易重叠，造成误判。	○	○	× 难以捕捉波形变化。
重视分辨率的 X射线谱仪	△	× 峰强度重现性差。	× 容易受到样品表面影响，随着时间的增加，越来越难以得到稳定的峰强度。	△ 细微峰的检测困难。