大腔室、多功能全自动离子溅射镀膜仪

三靶大面积溅射系统之旋转机械泵版本，CPU程序全自动控制，触膜屏用户界面，适合不氧化的贵金属如金（Au）、铂（Pt）等靶材镀膜。
Q300R T镀膜仪是为薄膜应用而设计的多功能离子溅射镀膜仪，也是钨灯丝和场发射电镜观察之大样品制备的理想镀膜仪。为了确保精细沉积，Q300系列镀膜仪设有旋转样品台和三只相同的磁控靶组件，这也将提高采用低电压溅射的工作效率。该系统之旋转机械泵版本Q300R T，适合使用不氧化的贵金属如金（Au）、铂（Pt）等靶材镀膜。
和极其成功的Q150系列溅射仪、蒸镀仪一样，Q300R T型镀膜仪装在一个符合人机工程学设计的、坚固的整体成型机箱中，并且集成有触摸屏控制，对有经验的熟手和第一次使用的用户都适合的简单操作，从而可提供卓越的镀膜质量。
主要特点：
• Large format chamber.The Q300 RT sputter coaters incorporate a 300mm x 127mm work chamber and the sample stage accepts substrates up to 8” in diameter. An extended height glass chamber is available as an option to enable coating of larger format samples. 大腔室。Q300 RT型溅射镀膜仪设有尺寸为300mm x 127mm的工作腔室和适用于zei大直径达8”样品的样品台。可选配加长高腔室，以便于大且高的样品镀膜。
• Triple sputter head 三靶大面积溅射
• Rotary pump version 旋转机械泵版本
• Fully automated touch screen control 全自动触摸屏控制
• Coater logging option 镀膜仪日志（选项）
• Customer defined coating protocols 用户自定义镀膜方案
• Film thickness monitor option 膜厚监控（选项），可通过腔室内的晶振片装置测量镀膜厚度，也可预设厚度去控制材料沉积在样品上的膜厚度，达到需要的镀膜厚度时，镀膜仪可自动停止镀膜
• Vacuum shutdown 真空闭锁功能
• Emergency stop switch 紧急停止开关

大腔室、多功能全自动离子溅射镀膜仪,Q300R T

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