类号	CS310C		CS320C
阀类型	Normally Closed or Normally Open	No Valve	Normally Closed or Normally Open	No Valve
流量规格(N₂)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度	±1% S.P. (≥35% F.S.)±0.35% F.S. (＜35% F.S.)		±0.80% S.P. (≥30% F.S.)±0.24% F.S. (＜30% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
工作压差范围	(0.05～0.35)Mpa(≤10SLM)(0.1～0.35)MPa (＞10SLM)	＜0.02 MPa	(0.05～0.35)Mpa(≤10SLM)(0.1～0.35)MPa (＞10SLM)	＜0.02 MPa
温度系数	Zero: ≤±0.02% F.S./℃； Span: ≤±0.05% F.S./℃
耐压	3MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	Metal
工作环境温度	（0～50）℃
输入信号	Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0～5)VDC	No	Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0～5)VDC	No
输出信号	Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0～5)VDC
零漂	＜0.6%F.S. per year without autozero
电源	±11～±16 VDC (双极) 或 +11～+28 VDC (单极)
表面化学成分	Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms
表面粗糙度	Ra 5μinch
标准接头形式	VCR1/4阳接头；1.125″C型密封接头1.125″W型密封接头		1.5″B型密封接头1.5″C型密封接头1.5″W型密封接头
电源接头形式	D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet male
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg

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CS300型质量流量控制器