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产品简介:
BOC Edwards EXT泵适用于除zei苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点,以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。 功能特点: * 兼容TIC涡轮仪表控制器。 * 多种通讯模式。 * 并口,用于传统控制信号接口。 * 串口,用于RS-232接口。 * 通过RS-232接口,用户可以设置各种参数RS-232。 * 正常泵速显示。 * 准备转速显示。 * 泵温。 * 增强型泵速、功耗、温度监测。 技术参数:
EXT75DX 爱德华复合涡轮分子泵,EXT75DX
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