SPM-9700HT扫描探针显微镜

探知未来
原子力显微镜（AFM）是在样品表面用微小的探针进行扫描，通过高倍率观察三维形貌和局部物理特性的显微镜总称。SPM-9700HT更是性能高、速度快、操作简单的新一代扫描探针显微镜。

新开发的可快速响应的HT扫描器加之软件与控制系统设计的优化，成功实现扫描速度比传统设备快5倍以上。

别具一格的探针更换夹具，让小心翼翼的探针更换操作变得简捷轻松。

样品交换时也可保持激光稳定照射悬臂。照射稳定性优异，分析时间也大幅度缩短。

可从不同角度放大拉伸图像进行确认。鼠标操作简单，更可进行3D断面形状分析。

按照操作指南指导操作顺序，使用导航功能直接锁定观察位置，实现了SPM的快速简便的观察

具备丰富的测定模式和优异的扩展性，可对不同硬度、不同导电性能等各式样品进行观察分析。

 控制气氛扫描探针显微镜 WET-SPM
可以控制样品和周边环境，在可控气氛下进行样品处理，并直接进行SPM观察。

选配系统具有温度湿度控制单元、样品加热冷却单元、样品加热单元、吹起单元。

 粒度分析软件
从图像数据中选取复数颗粒，对每一颗粒进行特征量的计算，并进行分析、显示，以及及进行统计处理。

HT扫描器

缩短观察时间  高通量扫描
通过新开发的可快速响应的HT扫描器以及软件与控制系统设计的优化，成功实现以传统设备5倍以上的速度（与本公司相比）获取图像数据。

扫描器可简单更换，因而可使用传统扫描器。另外，可通过在原SPM-9700上追加HT扫描器，实现设备的高效率分析。

分析案例

• 金属蒸镀膜的表面粗糙度分析

以1Hz和5Hz的扫描速度对金属蒸镀膜的表面形貌进行观察。画质及表面粗糙度的分析结果相同。

• 光栅沟槽形状检测

以1Hz和5Hz的扫描速度对光栅的表面形貌进行观察。经过断面形状分析，沟槽形状检测结果均相同。

探针专家

探针安装夹具——“探针专家”（选配）

可轻松地准确安装探针。

安装顺序：
① 将探针架安装在探针安装夹具上。
② 将探针置于滑动台上。
③ 将探针插入探针架并固定，保持探针能够滑动。

头部滑动机构   高稳定性&高速分析处理

光杠杆系统和悬臂合为一体的头部机构，仅通过整体滑动设置即可实现样品更换。激光连续照射，维持高稳定性。无需调整光轴中断激光照射，从而缩短分析时间。

高稳定性
·样品交换式也可保持激光稳定照射悬臂
·不受震动、声音和外界影响，无需专门的风挡
·内置减震器

SPM-9700HT  高稳定性的秘诀
维持高稳定性的构造 –不同激光照射方式下的稳定性比较-

高速分析处理
·无需拆除悬臂架即可进行样品交换。
·在SPM观测时，也可接触样品。
·无论样品的厚薄，可自动驱近到更适宜的观测位置。

SPM-9700HT 高速分析处理的秘诀
优异的操作性能  -样品更换的分析处理比较-

SPM-9700HT仅用鼠标即可实现旋转、放大缩小、Z轴倍率的自由变化，调节图像角度和倍率。更有将高度信息和其他物理信息重合显示的质感功能和3D断面形状分析功能，由此实现高度分析，提高图像确认的效率。

鼠标操作即可实现丰富的3D图像显示

放大缩小

旋转

Z轴倍率变化

质感功能
能够将高度信息和其它的物理性信息重合显示。两者关系也可明确显示。

3D断面形状分析
能够在3D显示时进行断面形状分析。质感功能显示物理性信息时，也可在同一位置分别显示各种各样的断面形状，并进行分析。

从观察到分析实现无拘无束的可操作性

从在线观察到离线分析采用无界限约束的新界面（GUI）设计，实现了从观察操作到观察位置、结果分析的简单便捷操作。

操作简单明确
从启动到观察、分析，均无复杂的设定，轻松点击鼠标即可进行操作。 自动进针，自动扫描，全程保护探针不受损伤，同时保证图像分辨率和探针寿命。

在管理画面上选择观察模式。

按照操作指南的步骤进行操作，即可轻松完成。

单击“开始观察”按键，从驱近样品表面到进行分析全过程实现自动。兼顾探针保护、操作便利和图像分辨率。

无需切换至在线状态，即可对之前获取的图像进行确认。

通过丰富的图像显示、处理、分析功能，尽显完好的观察结果，并可进行定量分析显示。

观察位置简单明确

至多可同时显示8组画面，可以实时对形貌和无形等多组图像进行比较。

可以在一个以观察的较大的区域，通过自由导航功能引导进一步观察任何一个指定的特定区域。已保存的图像数据也可作为参照表示 。

观察结果简单明确

可以边观察边在在线画面上测定断面形状。

能够将之前的图像数据与观察中的图像数据同时显示比较。

丰富的扫描功能

通过观察到的图像数据的个点测定力曲线，能够观察出样品的机械特性和吸着力的分布。

可以对样品的扫描方式、探针与样品间力、加载电压等参数进行编程，并按设定要求进行观察。

满足所有要求的功能和扩展性

丰富的设定模式，不仅可以显示样品形状，更可获得反应电流、电位、硬度和粘弹性等样品表面物理信息的图像。

标配

接触模式
悬臂和样品保持接触，观察样品表面形状的一种模式

动态模式
悬臂在震动的状态下观察样品表面形状的一种模式

相位模式
动态模式的性能扩展，样品表面性质的差异会导致悬臂相位的延迟，由此观察表面物理信息的一种模式

水平力模式
检测悬臂的工作水平力（摩擦力）的一种模式

标配

力调制模式
接触模式的性能扩展，观察样品表面物理信息的一种模式

力曲线模式
可以将悬臂与样品的作用力变化用图显示出

选配

电流模式
测量悬臂与样品间流过的电流分布的一种模式

表面电位模式
观察样品表面电位分布的一种模式

选配

磁力模式
观察样品表面磁性信息的一种模式

矢量扫描模式
悬臂可在样品表面任意移动的功能

溶液中观察模式
使用培养皿，在溶液中观察样品表面

电化学反应的观察模式
使用电化学反应溶液池，观察反应下的样品表面

接触模式AFM

云母的原子图像（使用充气平台）

动态模式AFM

蓝宝石的原子台阶

质粒DNA

相位模式

高分子片晶 表面形貌像

相位像

水平力（LFM）

白金层 表面形状

LFM像

力调制模式

聚丙烯膜 表面形状像

振幅像

力曲线模式

电流模式

碳电阻 表面形貌像

电流像

表面电势模式（KFM）

分散剤　表面形状像

電位像

磁力模式（MFM）

软盘 表面形貌像

MFM像

矢量扫描

硅基板上的金镀气层 表面形貌像

KFM像

溶液中观察（培养皿型溶液池）

亲水性高分子 大气中

溶液中

电化学反应观察 （电化学反应溶液池）

铜板 表面形状像

cyclic voltammetric 3次反复

粒度分析软件（选配）

颗粒分析软件是在SPM-9700HT的图像数据中选取颗粒，针对每个颗粒计算其特征量，同时进行分析、显示以及统计时使用的软件。能够对以下丰富的特征量和计算出的各特征量的统计数据进行一览显示，可更换数据前后顺序并可以图形显示。

分析例

薄膜（□５μｍ）

大肠杆菌（□30μｍ）

选出颗粒·分类结果

选出颗粒·标记结果

平均半径的柱状图表示

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