型号	品牌	PIPES指数
PI 压电精密XY位移平台	TMC	9
Leica MA TS	徕卡	9
GCM-910401M	萨特勒	8.7

仪器描述

ALIO高负载电动线性/二维位移台-高精度纳米级

ALIO高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台

昊量光电推出全新一代高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台，在保证纳米级精度（双向线性可重复性30nm）的前提下可以达到80kG（可选）的中心负载。

10 多年来，ALIO 一直专注于纳米精密运动和可重复性。由 ALIO 引入的 Nano Point Precision™ 6-D 和 True Nano™ 概念现已被 NIST 采用，并被认为是未来运动系统测量和量化的标准方法。

Nano Point Precision® 6-D 包括移动工作台的所有 6 个误差自由度：它允许您根据精确点（在 3D 空间中）指示“精度数字”，并用于许多应用，从激光处理到计量。ALIO 生产一系列线性运动控制解决方案，这些解决方案的设计和制造符合可保证其性能的标准。该公司的机械轴承台可以以任何空气轴承台无法复制的精度水平运行。

在用户群体中，ALIO 提供了超精确且具有成本效益的运动控制解决方案，即使对于苛刻的应用也是如此。该公司由一支无与伦比的杰出工程师团队组成，他们痴迷于纳米级运动控制，并尽可能突破感知界限。

一、纳米精度运动系统

高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台

带有交叉滚子轴承的整体式 XY 系统

*行程：30 毫米 – 440 毫米

*速度：高达 1m/sec

*分辨率：< 5nm

*双向重复性：< ± 30nm

*位移精度：< 1 µm

*标准和高动态等级

中空XY直线电机二维位移台

*行程：30 毫米 – 440 毫米

*速度：高达 1m/sec

*分辨率：< 5nm

*双向重复性：< ± 30nm

*位移精度：< 1 µm

*标准和高动态等级

凭借纳米直线度和纳米平面度，您可以放心，您的精度是 True Nano®。该系列位移台还提供中间开口和 50 毫米至 450 毫米的行程。标准的双向可重复性小于 50 纳米，但对于更苛刻的计量和生产需求，可以提供双向可重复性为 10 纳米配置（可选）。

纳米精度由 NIST 可追溯数据保证，而不是由数据表中指示的数字保证。

也可提供不对称版本（不同的 X 和 Y 行程）。

高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台

带有伺服电机 CM的直线工作台

*行程：25毫米 –300 毫米

*速度：高达 1m/sec

*分辨率：< 5nm

*双向重复性：< ± 30nm

*位移精度：< 1 µm

*标准和高动态等级

由 ALIO 设计的带有伺服电机的直线工作台是希望在不牺牲 True Nano® 精度的情况下限制成本的客户的理想解决方案。带有 CM 伺服电机的工作台仍然具有 ALIO 6-D 精度，但由于力较小，它们适用于所有需要低水平加速度和力的应用。该系列中的板使用集成在其他 ALIO 产品中的相同精密防滑轴承。可提供从 25 毫米到 400 毫米的行程。

二、高精度运动控制系统

ALIO的合理微米（μII）运动系统是一款既可单轴又可多轴组合的产品。