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纳米表面轮廓仪
IMOS纳米表面轮廓仪实现了精确、定量、iso兼容、非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征,在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求,包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。
IMOS光学表面轮廓仪在非接触式光学表面轮廓方面提供了强大的通用性。有了该系统,它可以方便快捷地测量各种表面类型,包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯。所有的测量都是无损的,快速的,不需要特殊的样品准备。纳米表面轮廓仪系统的核心是部分相干光干涉技术,它提供亚纳米精度测量更广泛的表面比其他商业可用技术。
IMOS 纳米表面轮廓仪提供了不同的应用程序的特殊价值,如平直,粗糙度,波浪形,台阶高度等等。IMOS 纳米表面轮廓仪配备了一个变焦头,可以填充离散变焦光学定制的系统。样本分段配置范围从完全自动化到完全自动化的编码行程。
IMOS 纳米表面轮廓仪提供高精度测量,易于使用,快速测量,及极具吸引力的价格,使其成为多功能3D光学轮廓仪的理想选择。
主要优点:
纳米模式下的Z轴分辨率:
~ 30pm微起伏模式(使用原子级光滑镜)
~ 0.3um微地貌模式下
外形紧凑;
快速响应;
抗外部振动;
测量过程自动化程度高;
特殊的用户友好的界面;
高质量的图形界面,以工作与多计划三维表示的测量结果;
广泛的可能性配置的显微镜,以各种形态-逻辑的测量表面;
能够工作在两种模式:微浮雕和纳米浮雕;
独特的存储系统和测量结果的系统化。
在硅基板上的Pd薄膜,高度100nm硅晶体表面的阶地,高度为0.314nm在硅基板上的Pd薄膜,高度100nm
位移台
1d (Z) range 50 mm
2d (XY) range 75x50 mm
CCD-相机抓帧器
位移台控制器
设备控制器
Software for working with IMOS
System / MS Windows
微地貌模式
微起伏模式
微地貌模式 ~ 0,3 μm
微起伏模式 ~ 30 pm (with atomically smoth mirror)
微地貌模式 up to 50 mm
微起伏模式 up to 20 μm
微地貌模式 ~ 4 μm/s
微起伏模式 ~ 20 μm/10s
纳米表面轮廓仪,纳米表面轮廓仪
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