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λ/1000超高精度激光干涉仪!
爱沙尼亚Difrotec公司的激光干涉仪是市场上高精度干涉仪的标杆产品,测量精度可达0.6nm(λ/1000). 其标杆产品D7激光干涉仪采用点衍射技术,主要用于高精度的表面(平面,球面,非球面,自由曲面)检测及透射波前检测。
产品参数:
产品特点:
测量光路示例:
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宽波段(0.3-14 THz)时域太赫兹光谱仪系统
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