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北方华创MARS系列碳化硅外延系统
参考价：面议
品牌与制造商：北方华创 产地：中国 型号：MARS 官方样本下载：来电或留言获取样本
数据更新时间：2026-10-16
AI Agent
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| 型号 | 品牌 | PIPES指数 |
|---|---|---|
| SES | 北方华创 | 5 |
| SES Series 8 Inch Batch Wafer Silicon Epitaxy System | 北方华创 | 5 |
产品官方概述
MARS系列是面向碳化硅外延工艺的专用设备，覆盖单腔、双腔两大产品形态，全面适配6/8英寸碳化硅晶圆量产需求，全系采用水平热壁式技术路线，结合先进的控温、控压算法，以及独创的进气与混流结构，使工艺过程中的热场和气流场保持均匀稳定，厚度均匀性、掺杂均匀性、缺陷密度等关键工艺指标均达到行业先进水平，可适配N&P碳化硅外延、沟槽填充以及厚膜工艺等多种工艺需求。
以下内容综合自北方华创官方技术规格及公开资料信息
官方技术参数
| 产地与供应商：国产 |
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