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北方华创SES系列8英寸多片硅外延系统
参考价：面议
品牌与制造商：北方华创 产地：中国 型号：SES 官方样本下载：来电或留言获取样本
数据更新时间：2026-10-16
AI Agent
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| 型号 | 品牌 | PIPES指数 |
|---|---|---|
| SES | 北方华创 | 5 |
| SES Series 8 Inch Batch Wafer Silicon Epitaxy System | 北方华创 | 5 |
产品官方概述
SES630系列为单腔多片式硅外延设备，适用于4/5/6/8英寸的硅外延工艺。SES系列反应腔室采用多片平板式的结构，配合感应加热的方式实现高质量的外延薄膜生长，适用于厚度5-130µm范围的外延工艺，精确可调N型、P型掺杂。该设备智能化人机交互设计与高效的安全互锁保障了系统安全和稳定。
以下内容综合自北方华创官方技术规格及公开资料信息
官方技术参数
| 产地与供应商：国产 |
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