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| 型号 | 品牌 | PIPES指数 |
|---|---|---|
| NEE-4000 (A) | 那诺-马斯特 | 7.8 |
| VSP-P1 | VSParticle | 7.5 |
| nanoPVD S10A | Nano Technology | 7.5 |
iTops i233主要用于2/4/6/8/12英寸ITO沉积工艺。系统由传输模块、工艺模块、附属设备以及电源柜组成。该设备具有占地面积小,结构简单,操作灵活,维修方便,运营成本低等优势。
| 产地与供应商:国产 |