北方华创eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统

eVictor系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统主要由真空传输平台，去气腔室（Degas），预清洁腔室和工艺腔室组成，设备采用Cluster Tool架构，可配置多个工艺腔室、预清洗腔室和去气腔室，其中工艺腔室可根据客户选择进行配置。eVictor系列PVD设备具有反应腔自动开闭盖，wafer自动传输，工艺去气，晶片表面预清洁、薄膜沉积完全自动化等特点。该系列产品广泛应用于6/8英寸功率、新兴科研等领域。

设备特点

• 独特的加热基座设计，具备良好的温度均匀性，高温厚铝工艺连续作业无累温

• 高温厚铝工艺具备高深宽比填充能力

• 背金工艺薄片传输及工艺，过程温度实时监控，优异的温度和应力控制能力

• 双腔传输平台，最多可支持10个工艺模块

• 靶材利用率高，大产能，低运营成本

产品应用

• 晶圆尺寸：6、8 英寸

• 适用材料：钛、氮化钛、铝、 镍、镍钒、银

• 适用工艺：铝线、正面电极工艺、背面金属化、氮化钛阻挡层工艺等

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