Veeco Savannah ALD原子层沉积系统

Savannah ALD原子层沉积系统已成为全球从事ALD研究、寻求经济实惠且稳健平台的大学研究人员优先的系统。过去十年中，我们已交付数百套此类系统。Savannah®高效利用前体和节能功能，大幅降低了薄膜沉积系统的运行成本。

Savannah ALD原子层沉积系统主要特点包括：

原位椭偏度

原位量子运力学

自组装单分子层                            

2秒周期时间           

综合臭氧                                   

低蒸气沉积

批量处理                                  

手套箱集成                                  

Savannah®配备了高速气动脉冲阀，支持我们独特的曝光模式™，用于超高展弦比基底上的薄膜沉积。这种经过验证的精密薄膜涂层方法可用于在宽高比大于> 2000：1的基底上沉积均匀、共形的薄膜。Savannah®提供三种配置：S100、S200和S300。Savannah®能够容纳不同尺寸的基材（S300可达300mm）。Savannah®薄膜沉积系统配备加热前驱体管线，并可选添加最多六条管线。Savannah®能够处理气体、液体或固体前驱体。

Veeco Savannah ALD原子层沉积系统信息由华兆科技（广州）有限公司为您提供，如您想了解更多关于Veeco Savannah ALD原子层沉积系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。