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中科光电URE-2000/17紫外单面光刻机（台式）
参考价：面议
品牌：中科光电 产地：四川 型号：URE-2000/17 样本：来电或留言获取样本
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参数
| 供应商性质：区域代理 | 产地类别：国产 |
产品介绍
URE-2000/17 型紫外单面光刻机（台式）
技术参数
。曝光面积：4 英寸
。曝光波长：365nm
。分辨力：1.5μm（胶厚 2 μm 的正胶）
。对准精度：±1μm
。掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。样片尺寸：直径 Ф 15mm-- Ф 100mm，厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
。曝光方式：定时和定剂量
。照明不均匀性： 5%（Ф 100mm 范围）
。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍
。掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞灯功率：200W（直流）
。曝光能量密度：6mW/cm
2．外形尺寸：650mm（长）x600mm(宽) x900mm（高）36
3．配置
（1）曝光头
。200W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。XYZ 汞灯调节台
。光学系统
。冷却风扇
（2）对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构,手动
。样片调焦机构，手动
。承片台 3 个（Ф 50mm 、Ф75mm 、 Ф100mm ）
。掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
。掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
。光源（配备品 2 只）、电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
。CCD（台湾）
。21 寸液晶显示器
（4）电控系统
。汞灯触发电源(200W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制机箱
（5）气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
（6）其他附件
。真空泵一台
。管道
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