中科光电URE-2000/25紫外单面光刻机

URE-2000/25 型紫外单面光刻机 

技术参数

。曝光面积：4 英寸

。曝光波长：365nm

。分辨力：1 μm（胶厚 2 μm的正胶）

。对准精度：± 0.8μm

。掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。样片尺寸：直径 Ф15mm-- Ф100mm(各种不规则片)，厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式：定时和定剂量

。照明不均匀性： 3%（ Ф100mm 范围）

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍， 光学+电子放大 800 倍

                        物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

                        目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

。掩模相对于样片运动行程：

       X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6o

。焦厚：350μm（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：3.5 o

。曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 o

。汞灯功率：350W（直流，进口）33 

2．外形尺寸：1200mm（长）x900mm(宽) x1750mm（高） 

3．配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2 

（2）对准工件台

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构, 手动

。样片调焦机构，手动

。承片台 3 个（Φ50mm 、Φ75mm 、Φ100mm）

。掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。基片抽拉式上下机构 

（3）对准显微镜

。光源（配备品 2 只）、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 及 21 英寸液晶显示器

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个） 

（4）电控系统

。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制箱 

（5）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表 

（6）其他附件

。真空泵一台

。空压机一台

。管道

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