DUV汞氙灯照明光源

DUV汞氙灯照明光源

昊量光电新推出汞-氙混合气体放电紫外照明光源，因其高稳定直流电源驱动控制，而且没有热漂移，所以能提供稳定的紫外照明。它允许对灯泡、反射镜和集光器进行精确、可重复的调整，能实现很好的对准。非常适合用于晶圆检测、光学检查和光掩模分析，特别是用于检测精细的结构和线宽是否有错误和缺陷。

DUV汞氙灯照明光源产品的特点：

• 无热漂移

• 可重复的机械调节

• 点火器集成在灯罩中

• 紧凑的灯箱

• 安全电路功能

  
  

DUV汞氙灯照明光源应用的领域：

• 光罩的光学检查和分析用照明，特别是结构和线宽的错误或缺陷

• 晶圆检测

• 净化去污

  
  

无集光器灯罩lh-qx 100.60的深紫外光谱光谱

DUV汞氙灯照明光源信息由上海昊量光电设备有限公司为您提供，如您想了解更多关于DUV汞氙灯照明光源报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。