薄膜应力测量仪

基本原理

激光曲率法

基于Stoney公式

主要方法

采用双波长激光对样品进行扫描测量

635 nm/670 nm 波长/ ≤5mW

主要功能

自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应力

薄膜应力测试范围

1- 10000 MPa

曲率半径测试范围

2- 20000 m

曲率半径重复精度

≤±1 % @1σ（曲率半径≤20 m）

≤±2.5 % @1σ （曲率半径 ≤ 200 m）

扫描步长

0.1 mm

样品尺寸

子型号M6-标配6 英寸，向下兼容4、3、2 英寸子型号M8-标配8 英寸，向下兼容6、4、2 英寸

子型号M12-标配12英寸，向下兼容8、6、4 英寸

样品台

电动旋转+水平位移样品台

样品基片校正

可数据处理校正原始表面不平影响（对减模式）

电源

110-220 VAC & 200 Watts Maximum

通讯连接端口

USB 3.0

工作温度

室温

操作软件

可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应力分布；一键自动生成检测报告；视窗界面/适用于Windows 10

系统

操作电脑

标配品牌台式一体机：

显示器：≥21英寸，≥8 G内存，CPU ≥ 2.5 GHz，≥512 G硬盘

外形尺寸

～850 宽×550深×450 高 mm

重量

~ 35 K g

质量保证

一年免费/终身维护

备注

以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们