系统级精度激光尺

中图仪器PLR3000系列系统级精度激光尺以激光干涉核心技术+硬核数据支撑，分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域广泛应用。

一、产品特点

1.超高精度

10nm高分辨率（支持外部拓展），PRO版线性精度达0.2ppm（普通版0.5ppm），稳频精度低至0.02ppm，相当于4米测量距离误差仅0.8μm，满足纳米级生产检测需求；

2.全场景适配

最大量程4m（可按需拓展），动态测量速度支持2m/s，覆盖从静态实验室检测到高速生产线联动的全场景；

3.环境抗干扰

一体化环境气象站实时补偿温度（10-40℃）、气压（650-1150mbar）、湿度（0-95%无凝露）影响，实测在-10℃至45℃工况下，数据稳定性仍保持±0.1ppm以内；

4.灵活安装设计

激光主机（2.8Kg）与探头（460-500g）分离，3m铠装光纤连接（可定制长度），狭小空间安装无压力，阿贝误差降低60%以上。

二、产品优势

1. 精度碾压传统方案

栅距精度是玻璃光栅的3倍，分辨率比钢带尺高100倍，环境适应性覆盖传统设备无法应对的工况；

2. 灵活定制无门槛

支持单/双/三轴输出，可选差分/平面镜/角锥棱镜探头（最高分辨率0.5nm），量程、线缆长度均可定制，适配90%以上复杂场景；

3. 安装使用省成本

体积小巧（探头仅手掌大小），准直调整角度达±1.5°，安装调试时间缩短50%，无需专业技术团队即可完成部署；

4. 双重使用价值

PLR3000系列系统级精度激光尺既可作为独立激光干涉仪测量，也可接入系统实现闭环位置反馈控制，一台设备满足多重需求。

三、产品应用

1. 半导体制造：光刻机晶圆精准定位、精密工件台闭环反馈，助力芯片制造良率提升

2. 航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准，保障核心部件可靠性

3. 精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量，提升加工精度与效率

4. 科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制，支撑前沿研究数据精准度

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