DVIA-M系列主动式减振台DVIA-M1000/DVIA-M3000/DVIA-M6000

概述

DVIA-M是世界上最先进的内置主动隔振系统，集成在各种平台上，并用作电子显微镜内的内置主动隔振系统。

特点

为电子显微镜而设计的主动隔振台
SEM、TEM 等纳米单位测量当中，电子显微镜会受到低频振动的致命影响，
而DVIA-M 是为电子显微镜特别设计的主动隔振平台。通过低频段的隔振，
给电子显微镜提供测量高分辨率、高像素清晰图像的最佳环境。

最佳性能的DVIA-M 主动隔振单元
DVIA-M 的4 个主动隔振单元 安装高性能传感器与制动力极强的执行器，在给超精密测量设备带来影响
的1-10 Hz 低频段，发挥着出众的主动隔振性能。DVIA-M 从0.5Hz 开始隔振，在2Hz 时隔振性能为
90%，10Hz 时为99%。DVIA-M 隔振单元 内部的空气弹簧在支持高重量设备的同时，有效衰减高频段的
振动。

混合主动光学平台选项
多功能平台，将在低频段展现出众隔振性能的DVIA-M 主动
隔振系统与高刚性的钢蜂窝芯结构光学台面相结合。

为实现最佳性能而进行现场调试
各个安装现场的振动环境不同，因此为了配合现场情况需要进行调试。专业工程师前往现场，
为使隔振台发挥最佳性能而进行现场调试。

定制平台
定制符合各个显微镜型号的平台。

性能表现

规格

应用

• · 扫描电子显微镜(SEM)

• · 透射电镜(TEM)

• · 扫描隧道显微镜(STM)

• · 扫描探针显微镜(SPM)

• · 核磁共振波谱仪(NMR)

• · 超精密测量仪器

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