Tousimis临界点干燥仪Cleanroom洁净室版

美国Tousimis临界点干燥仪Cleanroom洁净室版

临界点干燥原理

之所以称为临界点干燥（又称超临界干燥），因为它存在状态的连续性，即介质在液态和气态之间无明显的区别，分界面的表面应力降到零。这种现象具有特定的温度和压力，被称为临界点。零表面应力这种条件可用于干燥生物样品或含水材料样品，避免了表面应力对试样的损坏。 

我们在电子显微镜(扫描电镜透射电镜)的生物样品或含水材料样品制备时经常需要进行脱水处理（梯度脱水），但水的临界点为+374℃及3212 psi，很不方便并且容易损坏试样。通常也是非常方便的临界点干燥介质为CO2，它的临界点在+31℃及1072 psi。然而它不容易与水混合，因而必须用第三种介质，通常用乙醇或丙酮作为中间液体。这样在把过渡液体，即CO2 从液体转为气体时，在临界点无表面应力对样品的破坏。

美国Tousimis临界点干燥仪（CPD）产品分为非洁净室版本和洁净室（Cleanroom）版本两大类，前者常用于电镜制样，后者多用于超净间内的材料研究用途。

Tousimis临界点干燥仪Cleanroom洁净室版本共有9个型号：Autosamdri-815 Series B全自动临界点干燥仪可用于裸片和1”晶圆；Autosamdri-815B Series B全自动临界点干燥仪可用于4”晶圆；Automegasamdri-915B Series B全自动临界点干燥仪可用于6”晶圆；Autosamdri-931_1.25"、Autosamdri-931_2.50"、Autosamdri-931_3.40"多用途触摸屏全自动临界点干燥仪；Autosamdri-934触摸屏全自动C系列临界点干燥仪可用于4”晶圆；Automegasamdri-936、938触摸屏全自动C系列临界点干燥仪分别用于 6”和8”晶圆。

AUTOSAMDRI®-931 Cleanroom系列

该系列CPD的工作腔室有三种尺寸可供选择：

1.25" I.D. x 1.25" Depth - 25ml Volume

2.50" I.D. x 1.25" Depth - 100ml Volume

3.40" I.D. x 1.25" Depth - 186ml Volume

压力测量范围：0-2000psi.

温度测量范围：-30°C to 60°C

控制方式：配VGA LCD触摸屏，全自动程序控制

控温方式：全自动温度、压力控制；放气方式：微流量阀精确控制

v  默认“自动模式”设置，适用于大多数晶圆和方形裸片MEMS应用

v  每次可处理多达 5片基板（晶圆或裸片）

v  配备耐氟样品架，可选不同腔室分别用于干燥3"、2"直径的晶圆或边长为10mm的方形裸片

v  对于外部钢瓶供应的液态CO2，采用双T型过滤器进行颗粒过滤，截留率为99.5%以上

v  内部过滤可将过滤后的液态CO2直接输送至工作腔室， 颗粒过滤低至0.08µm，截留率为99.999%以上

v  内置SOTER™ 冷凝器，分离废弃乙醇和二氧化碳，消除任何管路冻结或机体静电，整个过程无噪声

v  "Stasis软件" ，干燥凝胶和其它复杂样品

AUTOSAMDRI®-815/815B Series B系列

外形尺寸：815 Series B  14"(W) x 10.25"(H) x 21.50"(L)；815B Series B  14.25"(W) x 11.75"(H) * 25.0"(L)

工作腔室尺寸：815 Series B  1.25"I.D. x 1.25"Depth；815B Series B  4.5"I.D. x 1.25"Depth

压力测量范围：0-2000psi.

温度测量范围：-30°C to 60°C

控制方式：全自动按键操作

控温方式：全自动温度、压力控制；放气方式：微流量阀精确控制

v  通过微处理控制器来实现全自动处理过程

v  内表面材质耐用于CO2，超纯乙醇和丙酮环境

v  自动控制系统压力和保持压力稳定性

v  内部过滤可将过滤后的液态CO2直接输送至工作腔室， 颗粒过滤低至0.08µm，截留率为99.999%以上

v  基于不同尺寸腔室，每次运行可以处理5 x 4"，5 x 3", 5 x 2"，5 x 1"直径的晶圆或者5 x 10mm方形裸片(提供可以耐氟的晶圆/方形裸片样品架，方便运输和处理晶圆和方形裸片)

v  内置SOTER™ 冷凝器，分离废弃乙醇和二氧化碳，消除任何管路冻结或机体静电，整个过程无噪声

v  815B Series B带有独特的腔室填充块，以减小腔室尺寸，使液态CO2的使用效率最大化

AUTOMEGASAMDRI®-915B Series B

外形尺寸：(W)14.25" x (H)11.75" x (D)25"

工作腔室尺寸：6.5" I.D. x 1.25" Depth - 679 ml Volume

压力测量范围：0-2000psi.

温度测量范围：-30°C to 60°C

控制方式：全自动按键操作

控温方式：全自动温度、压力控制；放气方式：微流量阀精确控制

v  通过微处理控制器来实现全自动处理过程

v  所有内表面材质耐用于CO2和超纯乙醇环境

v  0.08μm内部过滤系统可输送洁净的液态CO2到腔室

v  设有温度控制系统，自动控制系统压力和保持压力稳定性

v  独特的腔室填充块可改变腔室尺寸，使液态CO2的使用效率最大化

v  每次运行可以处理多达5个晶圆片

AUTOSAMDRI®-934; AUTOMEGASAMDRI®-936、938

外形尺寸：19.8"W x 31.7"D x 44.5"H

工作腔室尺寸：

934  4.50"I.D. x 1.25"Depth - 326ml Volume

936  6.50"I.D. x 1.25"Depth - 679ml Volume

938  8.50"I.D. x 1.25"Depth - 1162ml Volume

控制方式：配VGA LCD触摸屏，全自动程序控制

控温方式：全自动温度、压力控制；放气方式：微流量阀精确控制

v  专门的初始慢充到工作腔室，理想的流体动力学保护了敏感微型器件

v  工作腔室对液态CO2的颗粒过滤低至0.08µm，颗粒保留率达到99.999%+

v  防静电设计，适合洁净室材料制造应用

v  独特的腔室填充块可改变腔室尺寸，使液态CO2的使用效率最大化

v  每次可处理多达5个不同尺寸的晶圆片

v  可重复的操作参数，确保结果的“再现性”

v  设有温度和压力自动调节的安全操作功能

v  内置SOTER™ 冷凝器，分离废弃乙醇和二氧化碳，消除任何管路冻结或机体静电，整个过程无噪声

注：美国Tousimis产品已有近50年的历史，在中国乃至全球客户中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超临界干燥仪中国区代理。Tousimis临界点干燥仪产品分为非洁净室版本和洁净室版本两大类，前者常用于电镜制样，后者多用于超净间内的材料研究用途；

非洁净室版本共有7款CPD：

1）Samdri®-PVT-3D常规临界点干燥仪

2）Samdri®-795半自动临界点干燥仪

3）Autosamdri®-815 Series A全自动临界点干燥仪

4）Autosamdri®-815B Series A全自动临界点干燥仪

5）Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动临界点干燥仪

6）Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动临界点干燥仪

7）Autosamdri®-931_3.40"触摸屏全自动临界点干燥仪

洁净室版本共有9款CPD：

1）Autosamdri®-815 Series B全自动临界点干燥仪For Die & 1”Wafers

2）Autosamdri®-815B Series B全自动临界点干燥仪For 4”Wafers

3）Automegasamdri®-915B, Series B全自动临界点干燥仪For 6”Wafers

4）Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪

5）Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪

6）Autosamdri®-931_3.40"触摸屏多用途全自动临界点干燥仪

7）Autosamdri®-934触摸屏C系列全自动临界点干燥仪

8）Automegasamdri®-936触摸屏C系列全自动临界点`干燥仪

9）Automegasamdri®-938触摸屏C系列全自动临界点干燥仪

美国Tousimis超临界干燥仪广泛适用于生物样品，凝胶等具有微纳米3D结构的脆弱复杂样品，以及MEMS、MOF、碳纳米管、石墨烯、半导体晶圆（最大样品尺寸8英寸，一次同时干燥5片）等材料类样品的临界点干燥。利用CO2临界点状态无液相表面张力引起样品皱缩变形的原理获取具有真实形貌的干燥样品，是含水或其它液体的细胞组织等生物样品、半导体等材料样品干燥制样的有效方法；具有操作简便、控制精确、结果可重复等特点。其中，经典的SAMDRI®-PVT-3D和屡获殊荣的AUTOSAMDRI-931触摸屏全自动临界点干燥仪等型号尤其令人瞩目。客户可基于不同的应用选择不同的型号。

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